纯净的SF6气体虽然***，但在工作场所要防止SF6气体的浓度上升到缺氧的水平。SF6气体的密度大约是空气的五倍、SF6气体如有泄漏必将沉积于低洼处，如电缆沟中。浓度过大会出现使人窒息的***，设计户内通风装置时要考虑到这一情况。
高压击穿技术。
Dian击穿技术是从SF6在电力上的典型应用——作为绝缘气体应用在GIS开关柜中演变而来的。大家知道，目前化工行业制造六氟化硫气体的方法主要是采用单质硫磺与过量气态氟直接化合反应而成。其工作原理是根据SF6气体绝缘的特性，从置于被检测空气中的高压电极间Dian压的变化来判断空气中是否含有SF6气体。因其结构相对简单，成本低，检测精度相对高的特点。
如果六氟化硫气体中含有超过规定的水分，当其湿度发生变化时，就可能凝结在固体绝缘表面使该面变潮，这时设备的沿面放电电压将显著下降。（1）工作未开始之前，首先应测定现场周围环境空气相对湿度≤80％（即空气中水蒸汽密度和同温度下饱和水蒸汽密度比的百分值），这是限制空气含水具体示数。六氟化硫气体在电弧和电晕作用下分解生成的低氟化合物气体，假如没有水分子这个外部条件是不会生成SO2、HF及其它***物质的，从而也就可以避免由它们产生的设备腐蚀。所以，设备充装六氟化硫气体必须严密措施防止水分进入。
六氟化硫微水超标危害到底有多重呢？要知道这些水分和SF6气体反应除了产生氢i氟酸等毒i害物质，这些产物还会水分的影响下再次发生反应。在电弧作用下，SF6分解为氟原子和硫原子，设备触头则蒸发出金属Cu和W蒸汽，六氟化硫微水超标就会导致水分和这些蒸汽生成金属氟化物腐蚀元部件表面。在气象、环境检测及其他部门用作示踪剂、标准气或配制标准混合气。另还可能有***、HF等剧i毒物质，不但会腐蚀设备，一旦发生泄漏就会直接危害工作人员的生命健康。
我们使用SF6作为绝缘气体是看中了其自身的优越绝缘性，但是六氟化硫微水过多，导致水气结霜会使得绝缘强度下降，直接影响设备的正常运转。
