氮化铝陶瓷加工
氮化铝陶瓷 ALN
氮化铝陶瓷具有很好的热传导性、绝缘性、放热性、耐热冲击性等。可作为防热耐热材料。
主要用途：
半导体制造装置部品；防热性基材等。
ALN的性能特点
氮化铝陶瓷有很高的热导率，在陶瓷材料中仅次于SiC和BeO，目前国内平均水平为150W／m·K，国外为180 ～ 250／m·K，是氧化铝陶瓷热导率的7 ～ 8 倍；其机械强度和介电强度都优于氧化铝陶瓷，膨胀系数、介电性能分别与Si和氧化铝陶瓷相近。因而人们希望用高热导率的氮化铝陶瓷替代氧化铍或氧化铝陶瓷用于高密度、电子封装的陶瓷基板材料。
1.1陶瓷的结构：陶瓷的特性主要是由它的原子存在状态、原子的构造机理以及它们的晶体结构所决定的.相对于具有晶体高对称度结构的金属来说,陶瓷的晶体结构属于低对称结构,晶体是由共价键和离子键或两者结合的方式形成的。1.2陶瓷的力学特：陶瓷材料在室温下不具有塑性.其主要原因是由于陶瓷材料的晶体结构具有很强的方向性高的晶格能使陶瓷晶体中的空穴和位错迁移十分困难,从而形成了陶瓷材料的高硬度和无塑性流动现象。
2.4研磨和抛光：在工业生产的某些领域,仅靠磨削是达不到工程陶瓷件表面光洁度要求的，通常要采用研磨和抛光。另-方面，工程陶瓷材料韧性较小,脆性较大,其强度很容易受表面裂痕的影响。但加工工艺往往造成加I表面材料有许多微裂纹,裂纹往往引|起应集中,使裂纹末端应力更大。当该处应力超过裂纹扩展临界值时裂纹便扩展引起工件的***。加工表面愈粗糙,表面裂纹愈大,愈易产生应力集中，工件强度愈低。
