1、反渗透设备简介
反渗透设备是将原水经过精细过滤器、颗粒活性碳过滤器、压缩活性碳过滤器等，再通过泵加压，利用孔径为1/10000μm（相当于大肠杆l菌大小的1/6000，病毒的1/300）的反渗透膜（RO膜），使较高浓度的水变为低浓度水，同时将工业污染物、***、***、病毒等大量混入水中的杂质全部隔离，从而达到饮用规定的理化指标及卫生标准，产出至清至纯的水。RO膜可以去除水中的***、化学物质、颗粒物、***病毒、放l射性物质等对******的物质。
反洗工艺简介
反渗透设备因为一些产品使用的材料强度不够及其耐侵蚀性差，造成横轴断裂等设备故障，并且膜的种类不同对进水水质要求也有所不同。膜两侧有一个压力差，如水处理设备中应用比较广泛的格栅除污机，因为一些产品使用的材料强度不够及其耐侵蚀性差，反渗透设备造成横轴断裂等设备故障，还不包括因为维修影响运行造成的损失，严重影响了环境保护***效益，还会使反渗透膜表面极易结垢，采用反渗透膜壳可以有效的保护膜元件。这种方法基本上是一个用于反渗透系统中的水悬浮固体的测定的情况下。
超纯水技术在半导体行业的应用
预处理部分预处理的作用是对原水进行粗加工.提供符合Ro进水要求的给水。其主要用来去除原水中的悬浮物、胶体，使SD≤4;去除游离氯等氧化性物质;去除部分有机物;降低LSI ,避免碳酸盐结垢。在超纯水制造工艺中，传统预处理方式是“多介质过滤器 活性炭过滤器”。而该半导体制造厂采用了“粗过滤器 超滤装置”作为超纯水系统的预处理部分，主要原因如下:(I)传统的预处理过程中SDI值不好控制，一般gt;5，不利于后续的一级反渗透系统的运行;而超滤装置的出水SDI值比较稳定(}1)，能够有效地保证一级反渗透系统的运行。(2)传统的预处理方式占地而积大，而“粗过滤器 超滤装置”占地而积小，节约了基建费用。在有些半导体厂中，也有用“阴床十阳床”代替电去离子装置的，主要根据原水水质和产水水质对弱电解质的要求而定，这里主要探讨常用的电去离子工艺。(3)与传统的预处理方式在更换填料时需要大量的人力和物力相比，超滤装置的更换比较方便。(4)近年来，由于超滤技术的不断成熟，系统能够稳定安全地运行，而且超滤膜的价格也有了大幅度的降低，在一次性***和运行维护费用上跟传统的预处理方式相比差不多。
