工件表面超硬化处理方法主要有物***相沉积（PVD），化学气相沉积（CVD），物理化学气相沉积（PCVD），扩散法金属碳化物履层技术，其中，CVD法具有膜基结合力好，工艺绕镀性好等突出优点，因此其应用主要集中在硬质合金等材料上。PCVD法的沉积温度低，膜基结合力及工艺绕镀性均较PVD法有较大改进，但与扩散法相比，膜基结合力有较大的差距，PVD法具有沉积温度低，工件变形小的优点，但由于膜层与基体的结合力较差，工艺绕镀性不好，往往难以发挥超硬化合物膜层的性能优势。此外由于PCVD法是等离子体成膜，虽然绕镀性较PVD法有所改善，弹簧，不过没有办法消除。
由扩散法金属碳化物覆层技术形成的金属碳化物覆层，与基体形成冶金结合，具有PVD、PCVD无法比拟的膜基结合力，因此该技术真正能够发挥超硬膜层的性能优势，此外，该技术没有绕镀性问题，后续基体硬化处理方便，并可多次重复处理，使该技术的适用性更加广泛。
什么是纳米技术？
纳米镀膜技术及研发使用配方，弹簧绝缘镀膜加工， 能在金、银、钨、钴、钯等不同表面形成2-10nm厚度左右的镀层，从而使金属表面具有良好的耐磨性、导电性能、耐腐蚀、耐高温、防氧化及改变表面张力等特性，派瑞林弹簧镀膜，从而提升材料性能，可以的改善产品品质。镀层材料符合RoHS标准及又能环保。还有使用Water Basic电子零件和金属配件，可使它们在长期库存，弹簧防水镀膜，工件会保持没有硫化且寿命超过十年。此外纳米镀膜可以lt;300℃，使用不会氧化变色。此项技术打破传统工艺，可以耐300度以下高温不会出现氧化变色问题，从而可以实现***T工艺时免贴胶带过炉，镀银取代镀金大大提高您的良品率，为您节省开支。
纳米技术是一门交叉性很强的综合学科，研究的内容涉及现代科技的广阔领域。1993年，国际纳米科技指导将纳米技术划分为纳米电子学、纳米物理学、纳米化学、纳米生物学、纳米加工学和纳米计量学等6个分支学科。
a、初级反应：在非平衡等离子体中，电子与反应气体发生反应，反应气体发生分解，形成离子和活性基团的混合物；
b、次级反应：活性基团向薄膜生长表面和管壁扩散输运，同时各反应物间发生反应；
c、反应：初级与次级反应产物被吸附并与表面发生反应，同时有气相分子物放出。
等离子体增强化学气相沉积（PECVD）的主要优点是沉积温度低，对基体的结构和物理性质影响小；膜的厚度及成分均匀性好；膜***致密、少；膜层的附着力强；应用范围广，可制备各种金属膜、非晶无机膜和有机膜。尽管有许多优点，但仍存在不足，一是经济成本，二是技术成熟度。在技术上，等离子体增强化学气相沉积无论是反应装置还是工艺都有待改进和完善。
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