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广州潽拓光电——
德国 Pfeiffer Vacuum 普发真空
分子泵 Hipace 80/TMH 071 系列的工作原理
设计/工作原理
普发真空于 1958 年由 W. Becker 博士开发涡轮分子泵并获 得专利。涡轮分子泵属于动能
真空泵的范畴。它们的设计类 似于涡轮机的设计。多级、具有叶盘的涡轮状转子在壳体内 旋
转。涡轮机或压缩机的叶片被统称为叶片装置。转子盘之 间插入的倒置镜是具有类似几何
形状的叶片定子盘。
轴承
通过两个球轴承安装涡轮分子泵转子轴需要将两个球轴承都 安排在前真空侧，因为轴承中
有润滑剂。这导致转子凭借其 较大质量产生的单边（悬臂）支撑
电动机/驱动器
能够提供旋转频率高达 1,500 Hz (90,000 rpm) 的无刷直流电 动机用于驱动转子。这使得叶
片速度是泵送气体所必需的。
如今，驱动器通常都是直接连接到泵上。电源是 24、48 或 72 伏的直流电，通过外部电源
包或集成在泵的电子单元中的 电源包产生电流
广州潽拓光电——VARIAN分子泵维修Turbo-V 1K-G维修图片
agilent Turbo-V 1K-G涡轮分子泵功能特点：
MTTF 超过 200000 小时
转子设计显著降低重量和机械应力
拥有专利的转子轴配合技术可大大降低转子拉伸应力
市场上仅有的真正“一体化”系统
无油、耐用、可靠
广州潽拓光电——真空计 BPG400 and PCG 402 的工作原理
1、真空计 BPG400 and PCG 402 都是皮拉尼（Pirani）真空计2、皮拉尼（Pirani）真空计原理低温的气体分子碰撞高温固体时,会从固体夺取热量。通过被气体分子夺取的热量来计算压力的真空计被成为热传导真空计。条件允许时，只需使用*少量的***工具，在5分钟内就能现场完成油润滑的临时更换。热传导真空计主要被应用于中低真空领域。代表性的热传导真空计包括Pirani真空计和热电偶真空计。 原理
金属圆筒内部设有一白金细线,两端连接电极。在这种情况下，油润滑球轴承安装在前真空侧上轴的端部，且高真空侧配备了免维护和无磨损的永磁轴承，其将转子置于径向中心位置。通过电极给白金细线提供电流时,白金细线会发热,气体分子碰撞白金细线或热辐射或通过固体热传导等方式,白金线的热量会被夺走。单位时间内以上三种方式夺走的热量为Qg,Qr,Qs,则平衡状态下时以下公式成立
Ｑ = Ｉ2Ｒ = Ｑg Ｑr Ｑs （1）
Q是单位时间细线放出的热量,R是细线的电阻,I是细线的电流。 气体的平均自由行程比细线的直径大很多时,Qg通过自由分子的热传导被表示为
Ｑg = αΛπｄａ（Ｔ－Ｔ0）ｐ （2） T和T0分别为细线和金属圆筒的温度,P为气体压力,a是细线长度。 剩下的Qs和Qr可以分别表示如下
Ｑs = Ｓκ（Ｔ－Ｔ0）/Ｌ （3） Ｑr = πｄａσε（Ｔ4－Ｔ04） （4） （3）是电极的热传导,其中S是细线的断面积,κ是固体的传导率,Ｌ是电极的长度。（4）式代表热辐射,σ和ε分别被称为常数和固体辐射率。爱发科ULVAC主要生产各种油旋片泵、罗茨泵、机组（含规格品）、排气小车。如果保持T和T0一定,则（3）和（4）式为常数。如果用I02R表示一定量的固体热传导和热辐射,则式1可以表示为
Ｉ2Ｒ = Ａｐ ＋ I02Ｒ （5） Ａ = αΛπｄａ（Ｔ－Ｔ0） （6） I0是压力为0的时候细线的电流, 是弥补固体热传导和热辐射而带来的热量损失。Ａ式是不依存压力的定数 如果已知细线的电阻R,电流I0及定数A,则可以通过（5）式求得压力P。
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优点 10 毫巴以上与气体类型无关 – 允许用任何混合气体安全放空 在大气压下和重复性 – 用于可靠的大气压强检测 快速大气压检测 – 无需等待时间和缩短过程周期 任意的安装方位 –