




真空泵真空设备检漏维修
深圳锐诚真空技术有限公司座落于广东深圳,在北京、浙江设有******。是一家专门从事各种真空应用设备制造,集研发、生产和销售于一体的民营高科技企业。主营产品:真空设备,检漏仪,微水仪,lng抽真空系统,非标真空设备,真空箱式氦检漏设备报价,真空标准件以及真空设备的维护***。
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检漏工作的实施
只要正确的做好检漏范围的预判和正确连接好检漏仪后就具备了检漏的前提,应当按照如下步骤进行查、检漏工作:
①正常启动电弧炉真空系统,当炉室达到稳定的中真空度后,通常在10 Pa 以下,打开检漏仪开始进行工作;
②按照先高后低、先近后远的顺序依次对炉室各个点进行喷氦,针对真空自耗电弧炉而言合理的检漏路线应当依次是电极杆动密封处———观察孔玻璃处———炉头法兰———坩埚法兰———真空检测排———真空管道———真空挡板阀———大、小罗茨。
③外部无法喷氦检漏部位的检查。外部不易喷氦检查到的部位主要有:a. 电弧炉支撑杆动密封;b.气动卡头密封;c.坩埚底垫密封;d.真空炉室内隔层焊缝处的渗漏;e. 气动真空挡板阀内部盖板密封。
a和b的***需要制作专用电极杆端头盲板,将电极杆下部的紫铜导电法兰拆下并将制作好的带有密封圈的盲板用螺栓固定在原导电法兰处,重新抽空并对炉室测压升率,如果压升率显著下降则可以证明是此处导致漏气。
c 主要靠替代更换法,重新装配另外一组坩埚进行压升率对比试验的方法。
d 需要采用隔层内部喷氦打压的方式,将电弧炉水排上所有的出水阀门全部关闭并关闭除炉室进水阀外的其他进水阀门,在水排进口对炉
室隔层进行喷氦打压,将压力充到0.1MPa 后,重复检漏仪的检漏操作,如果隔层渗气,气体将进入炉室被检漏仪检测。
e 通过开、停泵检测压升率的方式检测。如果挡板阀内部盖板漏气,则在阀门关闭的情况下,停止系统真空泵工作和不停止的情况下压升率会有较明显的变化。

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结论
通过对检漏概念、检漏仪原理及电弧炉检漏的步骤的详细介绍,找到了真空自耗电弧炉检漏的步骤及要点,使其整个过程更加清晰化、模式化。本文在实际的工作中对现场的实际工作有重要的指导意义,同时希望本文对相关行业解决类似问题有所帮助。参考文献
[1] 姜波.真空检漏在维修中的应用[J].机械制造,2006,(4):65-67.
[2] 李军仁,付保全,李强,等. 真空自耗电弧炉真空系统检漏[J]. 真空,2005,(5):37-39.

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检漏仪原理图中14 检漏口的位置通常可以连接在图1 中虚线A 或B 的位置,因为这两处均能达到检漏仪检漏口小于1000 帕 的工作要求,对于粗检两个位置都能够达到要求,但对于系统的小漏,位置的选择则相当关键,对于核级锆铸锭的生产来说,当漏率介于0.65~1.5帕/min 时更要注意位置的选择。主要原因是由于:该型号的检漏仪分为检测大漏、中漏和微漏,当检漏口14的压强100 帕lt;Palt;1000 Pa 时检漏仪V1 和V2打开,氦气部分分子沿分子泵排气口逆流进入质谱室,因此只有当氦气分子较多时才能被检测到;当压强10 帕lt;Palt;100 Pa 时,检漏仪关闭V2,打开V3,V1 阀,此时氦气分子较多沿4 处分子泵进气口1 逆流进入质谱室中,可以检测到系统的中漏;当Pa lt;10帕 时,检漏仪关闭V3,打来V4、V1 阀,此时氦气分子大部分沿15 处分子泵进气口2 逆流进入质谱室中,达到检测微漏的效果。

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