（1） 主轴碰撞或是受力变形。
（2）主轴的支持轴瓦的内孔圆度超差。平面磨床的磨头部分在支撑上采用的是前后两个轴瓦的支撑模式，静压技术应用于其中，在轴瓦的前端开有深度为0.8mm，宽度4mm的两个回油槽。轴瓦的加工及装配精度会对M7140型静压磨头的使用质量产生较为严重的影响。轴瓦与主轴在直径方向上的间隙为0.07mm，可依照此数据进行故障查找及精度修复。主轴拆卸后发现造成轴振动的主要原因是轴瓦内孔圆度超差，致使静压平衡被***，造成主轴在回转时产生较大的振动。修复轴瓦内孔，***轴瓦内孔的圆度也可以用研磨的方法。
利用滚轮挤压砂轮
挤压的滚轮型面尺寸与零件型面尺寸相同，轮周开有辐向不等距的直槽斜槽，其槽宽1.5～2.5mm，深度应超过成形部分点2.5mm以上。其槽主要起切削刃作用，并能容纳挤下来的砂粒。材与挤轮中心线成10?～15?斜角，在1～2条的直槽内嵌入铁片，在挤压精加工后，铁片也加工成形，可用此铁片检查磨削的型面和成形砂轮或反面滚轮。滚轮的直径一般为Φ50～60mm. 挤压砂轮工具，主要由两个顶针构成。
消除磨削应力，也可将模具在260～315℃盐浴中浸1.5min，然后在30℃油中冷却，这样硬度可下降1HRC，残留应力降低40%～65%。对于尺寸公差在0.01mm以内的精密模具的精密磨削要注意环境温度的影响，要求恒温磨削 由计算可知，300mm长的钢件，温差3℃时，材料有10.8μm左右的变化，(10.8=1.2×3×3，每100mm变形量1.2μm/℃)，各精加工工序都需充分考虑这一因素的影响。