化学气相沉淀化学气相沉淀 (CVD) 系统具有 多种配置用于沉积多种类型的薄膜。五、罗兹泵EDWA***在***早推出高抽速的罗茨泵，其抽气率从240m3／h到4500m3／h，极限真空10-3mbar。制程 还以不同的压力和流量状态运行，其中的许多状态 都使用含氟的干燥清洁制程。所有这些可变因素意味着您 需要咨询我们的应用工程师之一来选择适当的泵 和气体减排系统以便大程度地延长我们产品的维修间隔并 延长您制程的正常运行时间。
干泵选择
CVD 制程通常需要通过选择适当的 干泵产品来克服四个特定挑战。这些挑战是：
粉末
许多制程会产生 大量粉末副产品。传动轴杆上安装有工业级滚柱轴承，可靠性极高，使用寿命和无故障工作时间也更长5。需要将真空泵设计成 能够处理这些粉末而不被卡住。在某些情况下，粉末实际上可能 很粘或需要高温运行才能确保粉末中夹带的其他 副产品不在泵内部冷凝并卡住泵机构。 对于几乎所有产生粉末的制程，您将不得不使用 采用高扭矩电机的泵，以确保泵在应力下保持 旋转。
冷凝
半导体 制程的某些副产品含有气体，当气体分压 增加或与冷表面接触时，这些气体会从气 相变为固相。在泵送这些副产品时， 您将需要非常热的泵，是从入口到出口 具有尽可能一致的温度分布的泵。
腐蚀
有些制程 需要泵送卤化物。从注油口处加入干净的真空泵油到视窗口的2/3位置（中心偏上），旋紧注油塞使其不漏气即可。尤其是需要含氟的清洁制程来 保持舱室的清洁性，但被激的氟自由基 可能会侵蚀泵的内表面。如果制程主要使用 可能对泵造成腐蚀的***，您需要确保可以 将泵温度设置为一个较低值以降低腐蚀风险。我们的泵设计 具有可选的温度设定点和高旋转 速度以降低腐蚀风险并降低泵中不可避免 发生的总体材料损失速率。对于某些 CVD 制程，需要在温度设定点上 达到平衡，以确保避免任何冷凝问题， 同时不使腐蚀速度过高。
真空泵泵体振动大的原因有哪些?
水环变化：若水环内径变大(供水不足所致)，则叶片顶端将与水环内壁发生碰撞，产生振动。冷凝半导体制程的某些副产品含有气体，当气体分压增加或与冷表面接触时，这些气体会从气相变为固相。若水环内径变小(供水过量所致)，其对叶轮的扰流及阻力损失增加，引发振动，同时增加泵的功耗。上海真空泵工作中，一定要保证合适的工作水供水量，若进水管发生结垢及堵塞现象。只凭进水压力不能准确衡量进水供应情况，一般可通过观察上海真空泵的排水量来判断水环的工作情况。
