真空检漏
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超声波法
该方法实际上是听音法的一种。它是将泄漏声音中可听频率部分截掉，仅仅使超声波部分放大，以检测出泄漏。检测时，可以直接使用超声波检测器，根据检测仪表指针是否摆动，确定有无泄漏。也可以采用使超声波回到可听频率范围内鸣笛的方法。采用后一种原理制造的超声波转换器不仅在被试验物加压时可以使用，在抽真空时，由于吸入的空气发出超声波，因而，采用真空法时也可以使用。
超声波转换器由于只检测超声波部分，在普通工厂的噪音条件下，不受明显干扰，因此检漏效果很好。
该法的灵敏度与被试验物体的加压、减压状况、泄漏的大小、泄漏点与检漏器（探头）间的距离等因素有关。当泄漏点与探头距离很近时，超声波转换器的灵敏度可达1′10-2cm3/s。
检漏时将检漏器的灵敏度调到da，一边移动探头，一边侦听，使能听到的超声波发出的声音达到da。然后，再寻找发出超声波的位置，以便确定泄漏点。但在探头不易接近的地方出现泄漏时，就很准确地判断出泄漏点。这种方法操作简便，人为因素较小，不同检测人员所得到的检测结果基本相同。
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干式涡旋泵
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产品特点◆ 全无油泵，不会污染真空系统
◆ 采用***马达与轴承的密封设计
◆ 体积小巧：351x181x140mm
◆ 与老式的膜片式干泵(隔膜泵)相比具有更低的极限压强
◆ 无任何可能造成灾害性系统故障的机械部件
◆ 低噪声，低振动
性能特点◆工作状态下泵体发热低
◆马达功率不到200瓦，低功耗
◆内置出气阀门有效降低工作噪声
◆出气口位置可以动，以便更好地适应空间要求
◆高压区间抽速高，确保迅速进入真空状态
◆重量轻，配有把手，易于携带
◆内置故障保护隔离阀保证真空系统的安全
◆配有自动气镇阀以有效排空水蒸气
◆维护简便，只需定期更换密封圈即可
技术特点◆独有的TriScrollTM***结构设计
◆具有轴承吹扫功能，保护轴承不被工艺气体或粉尘污染
◆高可靠性
◆具有自动气镇口
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往复真空泵
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往复泵的工作原理，如图2所示。泵的主要部件是气缸1及在其中做往复直线运动的活寨2。活寨的驱动是用曲柄连杆机构3来完成的。除上述主要部件外还有排气阀4和吸气阀5。泵运转时，在电动机的驱动下，通过曲柄连杆机构的作用，使气缸内的活塞做往复运动。当汪室在等舸内从存端向右端话动时。由于气缸的左腔体积不断增大，气缸内气体的密度减少，而形成抽气过程，此时容器中的气体经过吸气阀5进入泵体左腔。当活塞达到右位置时，气缸内就完全充满了气体。接着活塞从右端向左端运动，此时吸气阀5关闭。气缸内的气体随着活塞从右向左运动而逐渐被压缩，当气缸内气体的压强达到或稍大于一个大气压时，排气阀4被打开，将气体排到大气中，完成一个工作循环。当活塞再自左向右运动时，又吸进一部分气体，重复前一循环，如此反复下去，直到被抽容内的气体压力达到要求时为止。在实际应用中，为了提高抽气效率，泵多半采用双作用气缸，即活塞能在两个方向(往复)上同时进行压缩和抽气，这主要是依靠配气阀门来实现的。国产的w型往复泵即是单级的双作用泵。
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