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干式真空泵

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干式机械真空泵的应用是广泛的，主要有以下几个方面:

1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;

2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;

3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;

4)在化学工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，真空检漏仪，要防止有ji溶剂造成污染，适合用干式真空泵;

5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。

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真空泵

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测量方式

热偶真空计利用热电偶的电势与加热元件的温度有关，元件的温度又与气体的热传导有关的原理来测量真空度的真空计。

电离真空计由筒状收集极，栅网和位于栅网中心的灯丝构成，筒状收集极在栅网外面。热阴极发射电子电离气体分子，离子被收集极收集，根据收集的离子流大小来测量气体压强的真空计。

复合真空计由热偶真空计与热阴极电离真空计组成，测量范围从大气~10-5Pa。冷阴极电离计阳极筒的两端有一对阴极板，在外加磁场作用，阳极筒内形成潘宁放电产生离子，根据阴极板收集的离子流的大小来测定气体压强的真空计。

电阻真空计利用加热元件的电阻与温度有关，元件的温度又与气体传导有关的原理，真空检漏仪价格，通过电桥电路来测量真空度的真空计。

麦克劳真空计也成为压缩式真空计，将待测的气体用或油缩到一ji小体积，然后比较开管和闭管的液柱差，利用玻义尔定律直接算出气体压强的一种jue对真空计。

电容薄膜真空计这是一种阴极与收集极倒置的热阴极电离规。收集极是一根细丝，放在栅网中心，灯丝放在栅网外面，因而减少软X射线影响，延伸测量下限，可测超高真空。电容薄膜真空计将三种不同的规管综合在个小型经济的规管中，测量过程压强和基本压强从5x10-10至1500毫巴。电容薄膜真空计由于具有测量精度高、动态响应快、测量结果与气体成分无关以及抗腐蚀、耐气压冲击等一系列优点，因而越来越受到人们的重视。以它取代水yin压力计、油压计、电阻真空计、热偶真空计以至部分地取代电离计。

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真空泵真空设备检漏维修

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检漏工作的实施

　　只要正确的做好检漏范围的预判和正确连接好检漏仪后就具备了检漏的前提，应当按照如下步骤进行查、检漏工作：

　　①正常启动电弧炉真空系统，当炉室达到稳定的中真空度后，通常在10 Pa 以下，打开检漏仪开始进行工作；

　　②按照先高后低、先近后远的顺序依次对炉室各个点进行喷氦，针对真空自耗电弧炉而言合理的检漏路线应当依次是电极杆动密封处———观察孔玻璃处———炉头法兰———坩埚法兰———真空检测排———真空管道———真空挡板阀———大、小罗茨。

　　③外部无法喷氦检漏部位的检查。外部不易喷氦检查到的部位主要有：a. 电弧炉支撑杆动密封；b.气动卡头密封；c.坩埚底垫密封；d.真空炉室内隔层焊缝处的渗漏；e. 气动真空挡板阀内部盖板密封。

　　a和b的***需要制作专用电极杆端头盲板，将电极杆下部的紫铜导电法兰拆下并将制作好的带有密封圈的盲板用螺栓固定在原导电法兰处，重新抽空并对炉室测压升率，如果压升率显著下降则可以证明是此处导致漏气。

　　c 主要靠替代更换法，重新装配另外一组坩埚进行压升率对比试验的方法。

　　d 需要采用隔层内部喷氦打压的方式，将电弧炉水排上所有的出水阀门全部关闭并关闭除炉室进水阀外的其他进水阀门，在水排进口对炉

　　室隔层进行喷氦打压，将压力充到0.1MPa 后，重复检漏仪的检漏操作，如果隔层渗气，真空检漏仪哪里有，气体将进入炉室被检漏仪检测。

　　e 通过开、停泵检测压升率的方式检测。如果挡板阀内部盖板漏气，则在阀门关闭的情况下，停止系统真空泵工作和不停止的情况下压升率会有较明显的变化。

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