




ZF450型全自动热蒸发镀膜机
沈阳鹏程真空技术有限责任公司——***电阻器热蒸发镀膜供货商,我们为您提供下列信息内容。
选用3~8组蒸发源可适配金属材料、有机化合物蒸发。广泛运用于高等院校材料、物理学、有机化学、电子器件、电力能源等有关课程及其科研单位制取高品质作用塑料薄膜、蒸镀电级等,非常合适OPV/钙钛矿/无机物太阳能薄膜充电电池、半导体材料、有机化学EL、OLED显示信息科学研究与开发设计行业。Parylene在传感器领域中的应用,除了作绝缘介质外,更多用作防护材料,它能耐酸、碱和溶剂,对水汽和盐雾等恶劣环境有较好的阻隔防护能力,用极薄的涂层提供良好的防护。
1.前开关门真空内腔,便捷拿取基片、拆换蒸发舟、加上蒸发材料及其真空室的平时维护***;
2.1200L/s分子泵做为主抽泵,真空限达到5×10-5Pa;
另可选择進口磁悬浮分子泵或是低温泵做为主抽泵,真空限达到 3×10-6Pa;
3. 组水冷器蒸发电级,可长期平稳工作中,适配金属材料材料与有机化学材料的蒸发源设计方案,
源间有避免交叉式环境污染挡板;
4. 真空蒸发开关电源,恒流电源/恒输出功率操纵。可保持一键启动和终止的自动控制系统作用;
5.较大120mm基片/15~25mm ITO/FTO夹层玻璃25片,可订制一体化高精密刻蚀掩膜板;
6.基片台自转,转速比0~25rpm持续可调式;
7. 衬底可挑选加温或水冷散热,源基距较大350mm;
8. 选用進口膜厚监控器仪在线监控和操纵蒸发速度、膜厚;
9. 可堆积金属材料(Au, Ag, Al, Ca, Cu, Mg, Fe, Cr, Ni等)、非金属材料、化学物质(MoO3, LiF等)
及有机化合物材料, 可扩展堆积单面膜、双层膜及混和膜;
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双靶磁控溅射镀膜仪
产品特点
1、此款镀膜仪配置有两个靶枪:一个靶枪配套的是射频电源,用于非导电靶材的溅射镀膜;一个靶枪配套的是直流电源,用于导电材料的溅射镀膜
2、该镀膜仪可以制备多种不同材料的薄膜,应用非常广泛。
3、该镀膜仪体积较小,且配备有触摸屏控制面板,操作方便。
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OLED有机无机联合蒸发系统简介
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设备组成:
该设备主要由有机/金属源蒸发沉积室、真空排气系统、真空测量系统、蒸发源、样品加热控温、电控系统、配气系统等部分组成。
技术要求:
1、镀膜室:镀膜腔室尺寸约为600×450×450mm,不锈钢材料,方形前后开门结构,内带有防污板。
2、抽气系统:采用分子泵 机械泵抽气系统;
3、有机源蒸发源4个,容积5ml,2台蒸发电源,可测温控温,加热温度400℃,功率0.5Kw;
3、挡板:蒸发源挡板采用自动磁力控制方式,控制其开启;
4、样品架系统:可放置大小为Φ120mm的样品,旋转速度为:0~30转/分;
5、设备带有断水断电连锁保护报警装置、防误操作保护报警装置。
6、无机蒸发源2套、容积5ml,2台蒸发电源,加热电流300A,功率3.2Kw;
7、石英晶振膜厚控制仪:膜厚测量范围0-999999?
