科创真空产品(图)-国产氦质谱检漏仪维修-氦质谱检漏仪维修

氦质谱检漏仪的校准方法

氦质谱检漏仪广泛应用于制冷行业、核工业、电子行业、真空行业、电力行业、航空航天等行业。根据其工作原理和技术性能指标，通过实验，总结通过氦质谱检漏仪对其漏率校准的方法。

氦质谱检漏仪原理:

氦质谱检漏仪是一种以氦气作为示漏气体专门用于检漏的质谱分析仪器。其基本工作原理是采集被检件中的气体样品并将其电离，根据不

氦质谱检漏仪主要由质谱室、真空系统和电气部分等组成。

氦质谱检漏仪的内部一般有标准漏孔，可将标准漏孔拆卸进行校准，如果不能单独校准标准漏孔，就可考虑直接通过氦质谱检漏仪进行漏率部分的校准，本文主要讨论这种情况下氦漏率的校准方法。

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氦质谱检漏仪的结构和工作原理

氦质谱检漏仪是180°磁偏转型的质谱分析计，其基本原理是根据离子在磁场中运动时，不同质荷比的离子具有不同的偏转半径来实现不同种类离子的分离。检漏仪主要由质谱室、真空系统及电气控制部分组成。检漏工作时先打开抽空阀前级泵对检漏接口抽真空，当真空度P1 优于200 Pa 时，打开入口阀1、2，关闭抽空阀，氦气将逆着分子泵的抽气方向进入质谱室中被检测出来，国产氦质谱检漏仪维修，此时检漏仪的较小可检漏率为10- 10 Pa·m3/s。前级泵继续对检漏接口抽真空，当P1降至20 Pa 时，入口阀2 关闭，真空氦质谱检漏仪维修，入口阀3 打开，分子泵的高抽速用于抽空试件，检漏仪的反应时间缩短，国产氦质谱检漏仪维修，此时检漏仪的较小可检漏率为10- 12 Pa·m3/s。

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铝制板翅式换热器常用检漏方法

气密性试验检漏法

在对板翅式换热器进行完强度试验后，向所有介质通道充入干燥、洁净、无油的空气或氮气，使通道压力达到设计图样中所要求的气密性试验压力，将板式放入水池中稳压30 分钟，判断表面有无气泡出现，如有气泡，氦质谱检漏仪维修，找出外漏点进行标记。

然后按照先低压通道后高压通道的原则，逐次放空被测通道，按照相应的检漏工艺方法逐通道检查，终判定是否存在内漏点，以及哪组通道之间存在内漏缺陷。