净化工程之无尘车间首要净化设备装置
首，无尘净化车间进风体系要装置，新风过滤箱，净化空调（净化空调要分为初效/中效/三个过滤段）结尾有送风口。有必要时还装有净化增压箱。
第二，无尘净化车间回风体系要装置，回风口，过滤初效器，中效回风箱。
第三，进入无尘净化车间之前***入缓冲区，缓冲区门装置电子互锁，更衣处放置洁净储衣柜，空气 清新机。
第四，人和货品进入无尘净化车间须通过，风淋室，货淋室，传递窗首要传递小物品。
第五，在无尘净化车间内部分需求到达10-1000级当地装置笔直层流作业台，层流罩（FFU），洁净棚（可移式净化作业棚），自净器。测洁净室洁净度用，激光尘土粒子计数器。
洁净厂房建设需要注意事项：
1、为避免洁净室(区)装饰装修后被污损和确保施工过程的洁净管理，洁净厂房装饰装修工程施工前厂房的主体结构和屋面应完成并验收合格，其中“厂房的主体结构”，除了包括洁净厂房的结构工程外，还应包括厂房的外围护结构，包含外墙及其门窗等。
2、由于洁净厂房的装饰装修的洁净要求，为确保工程施工质量，“规范”对其施工条件、施工现场管理等作了较为严格的通用性规定，具体工程施工时都应认真地遵守这些规定，作好洁净厂房装饰装修工程的施工现场的清洁管理、人员管理，确保施工过程的有序、清洁。1级：主要应用于电子工业，这是目前对净化工程要求***高的环境，集成电路要求的精度要达到亚微米。
洁净车间管理中常见的问题
1、故障现象：初效过滤器脏污堵塞
故障结果：新风、回风混合进风量不足，空调风机输出流量不够造成洁净室正压不足。
解决办法：每月（30天）进行一次清洗，清洗三次后更换新的滤布
2、故障现象：空调风机皮带太松或断开脱落
故障结果：洁净室正压很小或没有正压。
解决办法：每班检查一次。
3、风机轴承每月（30天）加注一次润滑油脂，否则电机轴承会卡死烧毁电机。
具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻***工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。10级：主要用于带宽小于2微米的半导体工业。其空气净化要求仅次于1级，并且我国半导体技术也在发展之中，在未来对洁净度的要求更加高。净化工程在设计时，无论是新建还是重新改造的净化车间，都一定依照***相关标准、规范进行。应该引起注意的是：洁净室并非越大越好，面积和空间的大小关系着送风量的多少，决定着空调能耗的大小，影响工程的***。
