什么是电子气体
电子气体是超大规模集成电路、平面显示器件、化合物半导体器件、太阳能电池、光纤等电子工业生产不可缺少的原材料，它们广泛应用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺。例如在目前工艺技术较为***的超大规模集成电路工厂的晶圆片制造过程中，全部工艺步骤超过道，其中大约要使用种不同种类的电子气体。
电子气体输送系统是指为满足工艺制程的需求，在充分保证工艺和产品安全使用的前提下，将电子气体从气源端无二次污染、控制工艺需求的流量和压力等参数、稳定地输送到工艺生产设备的用气点。根据气体性质和供应包装的不同。
工业气体的***性：
燃爆性，物质从一种状态迅速转变成另一种状态，并在瞬间放出大量能量，同时产生巨大声响的现象，称为燃爆。燃爆可分为物理性燃爆和化学性燃爆。可燃气体的***特性主要是指化学性燃爆，即由于气体发生极迅速的化学反应而产生高温、高压所引起的燃爆。对于盛装的化学性质非常活泼的气体钢瓶需要特别注意，因为这些介质具有非常***的燃爆性。凡有热和光一齐放出的氧化反应称为燃烧。氧化不能仅仅理解为氧气与其它物质的化合，它也指物质与氧的化合。瓶装气体中“氧气瓶禁油”的道理是大家所熟悉的。氧气和绿气都是强烈的氧化剂，应避免与脂类等有机物接触。氧和氯都是化学性质活泼的气体，遇脂、胺、醇等多种有机物会发生强烈的化学反应而引起燃烧。
标气主要分为：纯气标准气和混合标准气；标准气体主要指：混合标准气体，属于气体标准物质（计量器具范畴）。
标准物质的定义是具有一种或多种足够均匀和很好确定了的特性值，用以校准测量装置、评价测量方法或是浓度均匀的，良好稳定和量值准确的测定标准，它们具有复现，保存和传递量值的基本作用，在物理，化学，生物与工程测量领域中用于校准测量仪器和测量过程，评价测量方法的准确度和检测实验室的检测能力，确定材料或产品的特性量值，进行量值仲裁等。
市面上标准气体的经营及生产单位有很多，进行计量认证、建标等必需选用有相关资质（***标准物质定级书）和分析检测能力的有证标准物质。
***气体的健康危害
***途径：吸入。
健康危害：***气体对人基本***，但浓度过高时，使空气中氧含量明显降低，使人窒息。当空气中***达25%-30%时，可引起头疼、头晕、乏力、注意力不集中、呼吸和心跳加速、共济失调。若不及时远离，可致窒息。皮肤接触液化的***，可致冬伤。
***气体对环境可能有危害，对鱼类和水体要给予特别注意。还应特别注意对地表水、土壤、大气和饮用水的污染。
