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硅基类薄膜太阳能电池设备：***提高大面积沉积的均匀性，进一步提升设备运行的稳定性，电子，适度提升自动化程度，提高生产效率。

（CdTe）薄膜太阳能电池设备：突破真空镀膜设备技术难点，研发新型升华源的结构，进一步提高温度均匀性，电子产品，开发在高温、真空环境下的传动系统。

（CIGS）薄膜太阳能电池设备：突破真空镀膜设备、材料溅射、硒化技术等技术难点，实现元素配比的控制，保证大面积沉积的均匀性，提高生产效率，降低制造成本。实现0.7平方米以上、电池转化效率达14%以上的CIGS整线设备集成。

切割设备：突破张力控制软件技术、水冷却气密封技术、砂浆温度闭环控制技术等关键技术，保证能满足太阳能硅片大生产切割需求，切割硅片尺寸8英寸，元器件，切割精度优于10微米、厚度在180微米以下的太阳能硅片多线切割机产业化。

清洗设备：突破槽体温度控制技术、溶液循环技术、大行程直线传输技术等关键技术，电子元件，提升产品质量的一致性，实现碎片率小于0.3‰的太阳能晶硅清洗制绒设备产业化，促进晶硅太阳能电池片转化效率提升。

主要任务，以重大专项实施为契机，加强产业的互动，引导承担重大专项的企业在攻克技术难关的同时延展技术的应用，推动集成电路的设备相关技术在半导体、显示、光伏、元器件等领域的应用，推动通信网络测试的设备在通用测试仪器中的应用。针对新兴市场的需求，加强产业链上下游的联动，共同探索新的工艺，联合研发新型的设备仪器。