气体流量控制器
气体质量流量计直接测量通过流量计的介质的质量流量，还可测量介质的密度及间接测量介质的温度。由于变送器是以单片机为核心的智能仪表，因此可根据上述三个基本量而导出十几种参数供用户使用。质量流量计组态灵活，功能强大,性能价格比高，是新一代流量仪表。
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靶式流量计
于六十年代应用于工业流量测量，可测量：气体、液体、蒸汽的流量计量，主要用于解决高粘度、低雷诺数流体的流量测量，先后经历了气动表和电动表两大发展阶段，SST和SBL这两种智能靶式流量计是在原有应变片式靶式流量计测量原理的基础上 ，采用了新芯片Ⅱ级电容力式传感器作为测量和敏感传递元件，同时利用了现代数字智能处理技术而研制的一种新式流量计量仪表。
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容积式流量计
在容积式流量计的内部，有一构成固定的大空间和一组将该空间分割成若干个已知容积的小空间的旋转体，如腰轮、皮膜、转筒、刮板、椭圆齿轮、活塞、螺杆等。旋转体在流体压差的作用下连续转动，不断地将流体从已知容积的小空间中排出。根据一定时间内旋转体转动的次数，即可求出流体流过的体积量。容积式流量计的理论流量计算公式：
式中，qf为工况下的体积流量，m3/s；n为旋转体的流速，周/s；V为旋转体每转一周所排流体的体积，m3/周。
在标准状态下，容积式流量计的体积流量计算公式与速度流量计相同。气体容积式流量计属机械式仪表，一般由测量体和积算器组成，对温度和压力变化的场合则需配置压力计（传感器或变送器）、温度计（传感器或变送器）、流量积算仪（温压补偿）或流量计算机（温压及压缩因子补偿）。
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选择气体流量控制器时需要注意什么？
例如，真空等离子清洗机需保证真空反应腔体内的压力稳定，所以选择好气体流量控制器后，还需注意气管接头的挑选。通常我们会选用快拧接头或卡套接头作为气体流量控制器的气管接头，以此来满足工艺气体真空管路的密封。真空等离子清洗机在处理一些特殊材料的时候，可能会把液态单体作为放电介质，就必须使用手动浮子流量计作为流量控制器；对于腐蚀性单体则需使用防腐型的浮子流量计；对真空环境要求比较苛刻的，建议使用高密封性的浮子流量计。如需对液态单体进行流量监控，也可增加气液流量计，但需考虑单体的测量元素、沸点、冷凝点等因素，可视情况进行选择。
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