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洁净室中的温湿度控制
洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,食品车间净化工程,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。
具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻***工艺中,食品车间净化工程价格,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,食品车间净化工程报价,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,食品车间净化工程收费,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间不宜超过25度。
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9 送递箱两侧的门要有联锁,且气密性良好,容易清扫;
10 洁净房间的色彩应淡雅、柔和、有协调感。另外,室内各表面的装修材料的光反射系数,吊顶及墙面为 0. 6-0. 8,地面可为 0. 15-0. 35。
11洁净房间内的墙壁和吊顶的涂料应难燃、防裂、耐腐蚀、耐磨耗、表面平滑,采用吸水不变质、不发生霉菌的涂料;
12 洁净室墙面和顶棚表面如抹灰, 应采用抹灰标准, 养护时间应充分;不得采用因受热、受潮湿影响而产生变形、开裂、霉变、粉化的材料。 抹灰后应刷涂料面层,并应选用难燃、不开裂、耐清洗、表面光滑、不易吸水变质发霉的涂料。
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国外洁净室的强度要求极高,例如美国关于洁净室的几个标准的要求是.
100级: 1080-16001x
10000级: gt;lOOOlx
100000级: gt;1000LX
人工光300lx有较好的效果,当工件精细程度更高时,500x也是允许的。对于要红灯照明的地方,如电子行业的光刻车间,其照度一般为25—501x),
用天然光时可允许更高的照度,因而对工作是有利的,所以今后洁净室的照明既采用人工光也采用天然光可能是有前途的,这也是为了节能而出现的一种动向。
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