




高纯气体管路的设计要点:
1.对于不同特性的气体,要规划***的供应区域,一般分为三个区:腐蚀性/毒性气体区、可燃性气体区、惰性气体区,将相同性质的气体集中加强管理,可燃性气体区要特别规划防爆墙与泄漏口,若空间不足,可考虑将惰性气体放置与毒性/腐蚀性气体区。
2.管路设计需要考虑输送的距离,距离越长,成本越高,风险也越高,通常较合理的设计流速为20ml/S,可燃性气体小于10ml/S,毒性/腐蚀性气体小于8ml/S,在用量设计方面,则需要考虑使用点的压力和管径大小,前者与气体特性有关,后者使用点的管径一般为1/4”~3/8”。
3.根据用气设备的分布情况,高纯气体的管网不宜过大或者过长;宜采用不封闭的环形管路,在系统末端连续不断排放少量的气体,以便在管网中总有高纯气体流通,不会发生“死空间”引起高纯气体的污染。
4.管路中应减少不流动气体的“死空间”,不应设有盲管,在特种气体的储气瓶与用气设备之间应设吹扫控制装置、多阀门控制装置、用以控制各个阀门的开关顺序、系统吹除,以确保供气系统的安全、可靠运行和防止“死区”形成而滞留污染物,降低气体纯度。
5.对高纯气体纯度要求不同的用气设备,宜采用分等级高纯气体输送系统;也可采用同等级输送系统,真空管道安装怎么样,但是在纯度要求高的用气设备邻近处设末端气体提纯装置。
6.为了检测高纯气体的纯度和杂质含量,输送系统除了设置必要的连续检测仪器,如衡量水含量或者氧杂质含量等分析仪外,还应设置定期取样用的检测采样口,以便按规定时间进行采样,分析高纯气体中各种杂质的含量。
7.在亚微米级的集成电路生产中,要求供应10-9级的高纯气体,山东真空管道安装,为了确保末端用气工艺设备处的气体纯度,使气体中的杂质含量(包括尘粒)控制在规定的数值内,一般在设备前设置末端纯化装置,或末端气体过滤器。
实验室气体工程安装注意事项
(1) 管径为1/8的管路很细且特软,安装后不直,很不美观,建议管径为1/8的全部换成1/4,在二级减压器末端加一变径就可以了。
(2) 氮气,Ar,压缩空气,氦气,甲i烷,氧气的已经减压器压力表量程为0—25Mpa,二级减压器为0—1.6 Mpa。乙i炔一级减压器量程为0—4 Mpa,二级减压器为0—0.25 Mpa。
(3) 氮气,Ar,压缩空气,氦气,氧气钢瓶接头共用氢气钢瓶接头分两种,一是正转钢瓶接头,另一是反转。大气瓶用的是反转,小气瓶用的是正转。
(4) 气体管路每隔1.5m设一管子固定件弯曲处及阀门两端都应设固定件。
(5) 气体管路应沿墙明设,以便安装维护。
气路系统结构及工作原理
气压系统由空压机、干燥器、滤清器、自动排水器、防冻器及各类控制阀件组成,压缩空气经多级净化处理后,供底盘行驶及车上作业使用。
一. 结构特点 气压系统主要由以下组成: ? 压缩空气气源 ? 动力系统控制气路 ? 底盘气路 ? 绞车气路 ? 司钻控制 压缩空气气源整车共用,底盘气路和绞车气路均为相对***管路,并相互锁定;分动箱的动力操作手柄在切换发动机动力时,同时切换压缩空气气源,钻机车在行驶状态接通底盘气路,钻修作业接通绞车气路。当二者其一管路接通压缩空气气源时,另外一路则被切断压缩空气气源,确保设备操作安全,减少气路管线泄漏
二. 压缩空气气源 1. 空气压缩机,往复活塞结构,4缸V形排列;2台,分别安装在2台发动机右侧 前部,由曲轴端皮带轮驱动;强制水冷,润滑,冷却管线与发动机冷却水道相连,浙江真空管道安装,润滑管线与发动机润滑系统相连。 2. 调压阀,安装在空气压缩机缸体侧部,调定控制气压系统空气压力,调定值0.8 ±0.05 MPa,当系统气体压力升高,达到调定值时,调压阀动作发出气动信号,分两路,一路信号接通两台空气压缩机卸荷阀,顶开各气缸进气阀门,空压机置空负荷运转状态,真空管道安装,停止向气压系统供气;另一路信号接通两台干燥器排泄口,干燥器储气室内的干燥空气迅速反向流动流,吸附干燥剂层的水份,迅速排出干燥器体外,使其干燥剂再生。系统压力低于调定值,调压阀气信号消失,空压机卸荷阀复位,空压机重新进入正常工作状态,继续向系统供应压缩空气,同时,干燥器排泄口关闭,干燥器重新开始工作,吸附干燥系统压缩空气。
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