往复真空泵、旋片真空泵、滑阀真空泵、罗茨真空泵是靠活塞往复运动或旋转将气体吸入、压缩并排出。它们的优点是新投入使用的泵真空度相对比较高，但是活塞是运转部件，因此活塞的磨损是避免不了的，随着检修次数的增加工作真空度将不断下降，直至满足不了生产的要求。真空泵可能发生的故障及解决办法5、压出管路太细，管路损失太大5、换适合的压出管路6、使用扬程超过了设计扬程6、重新选泵7、输送热的、挥发性的介质7、降低吸程或采用倒灌按装8、转向反了8、纠正转向。
此类真空泵工作噪音大，耗油量大，故障率高也是其致命的缺点，一般都需要开一台备用一台，
这无形中增加了设备***与运行费用。另外如果用此类真空泵抽吸水蒸汽等可凝性气体，将使润滑油乳化，因此只能应用在抽吸不凝性（空气类）气体，也不能抽吸带有颗粒状的介质，这也就限制了其适用范围。
水环真空泵是靠装在泵壳内的带有多叶片的偏心转子旋转，把水抛向泵壳形成与泵壳同心的水环，水环与转子叶片形成了容积周期变化从而将气体吸入、压缩并排出。它的优点是低真空时抽气量大、可以直接抽吸水蒸汽等可凝性气体。它的缺点是真空度低；不能抽吸带有颗粒状的介质；经常调整填料压盖，保证填料室内的滴漏情况正常（以成滴漏出为宜）。转子高速旋转不易做防腐处理，因此不能抽吸具有腐蚀性的介质。
化工、纺织行业的真空过滤、蒸馏、浸渍、电子仪器等行业都离不开真空。在短时间内水都是循环利用的，为了包管不会因为水温升高而影响真空泵的性能，必须加冷却塔大概散热器包管循环用水不会过高。
