净化车间是为了满足半导体制造工艺需求的洁净室，该无尘车间对环境洁净度、温湿度控制等都有一定的要求。相对于其他工业洁净室，集成电路制造无尘车间有面积大、洁净等级高、温湿度控制精度高等特点。
根据洁净室车间空气循环特点可以将洁净室分为三种类型：循环空调机配合送风口系统、循环风机配合湿式密封系统和FFU循环系统。
好的洁净车间设计不仅能节省能源、降低运行成本、降低人力投入，而且可以给生产提供安全可靠的保证。在3种洁净系统中，FFU循环系统运行成本很低，洁净度安全性很高，因此集成电路洁净厂房多采用FFU循环系统。而洁净度要求越高，温湿度控制精度越高则洁净室***和运行成本越高，因此在大环境洁净度或温湿度要求相对较低的情况下，将一些关键的工艺设备布置在较高洁净度或温湿度控制区域内是集成电路制造洁净厂房的设计趋势。为减少空调系统和空调的漏风，采取相应的有效措施和方法，达到节能运行的目的。
洁净车间是一个多功能的综合体，洁净车间工程是一个多学科、多领域、综合性的工程。由于洁净车间工程技术难度高，工程造价大，因此，在实施洁净工程时，一直注重洁净车间的设计。清洁车间的设计一般应遵循“三不一要”的原则。
一、不带入：不向洁净车间带入任何灰尘。
遵循这个原则，洁净车间设计时，应做好如下的工作：
1、过滤器正确安装，不会出现灰尘泄漏的情况。
2、保持洁净车间相对于室外的正压，只能让室内的污染空气出去，不能让室外的空气通过缝隙进入洁净车间。
3、人员进入洁净车间之前，必须做好清洁工作，更换洁净服，并经过风淋室风淋，如此方可进入。
4、材料与设备经清洁后方可进入洁净车间。
尽量减少由于风机、电动机的温升而消耗处理空气的能量。风机在运行中，本身温度升高，电动机在运行中，电动机表面温度也升高，如果风机及电动机均设置在空气处理室内，则空调系统不仅要承担处理空气的能量，还要承担消除由于风机、电动机散热所消耗的能量；严格洁净车间的管理，控制人员数量，避免不必要的移动，人员应穿洁净服。对于净化空调系统设法将电动机移至空气处理室之外，或将风机、电动机均设置在空气处理室之外，即可减少由于电动机的温升而增加处理空气的冷负荷。
