什么是电子气体
电子气体是超大规模集成电路、平面显示器件、化合物半导体器件、太阳能电池、光纤等电子工业生产不可缺少的原材料，它们广泛应用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺。例如在目前工艺技术较为***的超大规模集成电路工厂的晶圆片制造过程中，全部工艺步骤超过道，其中大约要使用种不同种类的电子气体。
电子气体输送系统是指为满足工艺制程的需求，在充分保证工艺和产品安全使用的前提下，将电子气体从气源端无二次污染、控制工艺需求的流量和压力等参数、稳定地输送到工艺生产设备的用气点。根据气体性质和供应包装的不同。
工业气体的***性：
燃烧性，可燃气体在燃烧时一旦泄漏燃爆，后果是相当严重的。液化气体的特点是沸点低，极易气化，因而突然泄压时造成的闪蒸（即瞬间的迅速气化）是一般气体所没有的特殊现象。一般情况下，闪蒸量约为泄漏量的20%—30%，已蒸发气体自然地向大气扩散。这种闪蒸现象对于可燃的液化气体来说特别***，因为迅速蒸发使气体来不及扩散而滞留在一定的空间范围与空气混合形成了燃爆性气体，这就是意味着已具备发生燃爆的先决条件。通常比空气轻的气体在接近地面的大气中垂直扩散大于水平扩散；而比空气重的气体在大气中则容易沉降，因而主要是水平扩散。水平扩散的结果会使气体在风向下沿地面大范围的空间里扩散；那后果是不堪设想的。燃烧是一种同时伴有发光、发热的激烈的氧化反应。燃烧必须同时具备可燃烧、助燃物、导致燃烧的能源这三个条件，缺少其中任何一个条件燃烧便不能发生。空气本身就是一种助燃的氧化剂，这一条件随时随地都将存在。可燃物就是可燃气体本身。关键的问题是要控制好点火源和防止气瓶中可燃气体的泄漏。
***气是一种惰性气体，现在广泛应用于工业行业，是一种很有用的稀有气体，***气性质非常不生动，它既不能焚烧，也不能助燃，因而稳定性很好，***气不会发生化学反应而爆燃爆，只有可能因为科拉贝隆推导公式的压强改变而燃爆。***气罐很结实，也不会像煤气罐那样单片横飞，ArF是有的，但温度改变不大，一般情况下，乃至高温高压下都没有问题。 高纯***气的***履行标准是GB/T10624—1995，质量要求到达99.999%以上。
***气是采用空气分离提***，即将液化的空气进行精馏,得到粗***.抽出粗***,经进一步提纯可得到高纯***，高纯***在半导体工业中用作出产高纯硅和锗晶体的保护气体；可用作系统清洗、屏蔽和增压用的惰性气体；在化学气相堆积、溅射和退火等工艺中有所应用。高纯***也可作为色谱载气.***被广泛用来充填弧光灯、荧光灯和电子管；焊接保护气；在钛、钴和其他活性金属的出产中用作屏蔽气；在黑色冶金中用于吹炼特种钢。
