等离子清洗机真空度不够是什么原因？
存在原因有：
1、busch真空泵维修真空泵腔室内有大量杂质沉积和粘附，杂质会随真空泵的运行而流动，易造成真空泵转子卡死、真空泵各级旋片划伤及损坏、封堵油路、排气阀片断裂等情况，影响真空泵的抽空能力甚至导致真空泵转子等主要部件损坏。
2、因大量杂质已经粘附于腔室内，普通清洗难以去除，需采用化学***浸泡清洗和物理打磨的方法去除。经确认，腔体内杂质以胶渣沉积物为主，其他成分无法确定，还需与客户进行技术探讨进行深入了解。
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busch真空泵维修选型及***
根据真空室的容积大小和要求的抽气时间来选主泵。真空室体积大小对系统抽到极限真空的时间有影响。当抽气时间要求一定时，若真空室体积越大，则主泵抽速也越大。
正确地组合真空泵，由于真空泵有选择性地抽气，因而有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。
若busch真空泵维修严格要求无油时，则应该选各种无油泵作主泵。如果要求不严格，则可选择有油泵，然后加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。
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busch真空泵维修为什么需要中心校准
次校中心：
在底座灌浆固化后，应再次检查对中心情况。在对底座进行灌浆的过程中， 底座往往会被弯曲或移动，使对中心出现问题。 水泥浆固化时会产生大量的热量以及一些可能会改变参数设置的膨胀力。
第2次校中心：
在busch真空泵维修运行一段时间（可能几小时）后，应小心地关闭并重新检查对中情况，以查看是否有变化，并根据需要进行纠正。 驱动装置是否是涡轮机，或者泵是否在负载下运行，都应予以考虑。
busch真空泵维修真空度的调节
很多微型真空泵的本身是没调节真空度的功能的，只有通过加阀门的方式调节。比如在泵的抽气端串一个精密泄压阀，当真空度较高时，把阀门打开，真空度就降下来了。这种精泄压阀还有有定向排放***的气体等，到指示容器的通道，这是很多阀门没有的功能。
可以用智能真空泵，泵的上面有按钮，可以设定负压，还有液晶面板显示负压。另外还有一个旋钮，可以调节流量的大、小。这种智能真空泵又称交流电真空泵，数显真空泵。
