***维修爱德华真空泵 E2M80真空泵维修***
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真空泵泵体振动大的原因有哪些?
水环变化：若水环内径变大(供水不足所致)，则叶片顶端将与水环内壁发生碰撞，产生振动。若水环内径变小(供水过量所致)，其对叶轮的扰流及阻力损失增加，引发振动，同时增加泵的功耗。化学气相沉淀化学气相沉淀(CVD)系统具有多种配置用于沉积多种类型的薄膜。上海真空泵工作中，一定要保证合适的工作水供水量，若进水管发生结垢及堵塞现象。只凭进水压力不能准确衡量进水供应情况，一般可通过观察上海真空泵的排水量来判断水环的工作情况。
真空泵抽气量不足的原因及解决方法是什么？
看看进气口和排气口是否接错了，三相泵的话看看是不是电机反转了。如果真空泵电机还是好的。而且如果是不同工作方式的泵，不能正常工作的原因还是有所区别的，不能一概而论。
真空泵抽气量不足的故障原因：
①泵的转速低于规定转速。
②叶轮与端盖的间隙过大。
③填料室密封漏气。
④吸入管道漏气。
⑤供水不组。
⑥水环温度过高。
