




在真空中制备膜层,包括镀制晶态的金属、半导体、绝缘体等单质或化合物膜。虽然化学汽相沉积也采用减压、低压或等离子体等真空手段,但一般真空镀膜是指用物理的方法沉积薄膜。真空镀膜有三种形式,即蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀。
蒸发镀膜 通过加热蒸发某种物质使其沉积在固体表面,称为蒸发镀膜。这种方法***早由M.法拉第于1857年提出,现代已成为常用镀膜技术之一。
3.晶格有序度的均匀性:
这决定了薄膜是单晶,多晶,非晶,是真空镀膜技术中的热点问题,具体见下。
主要分类有两个大种类:
蒸发沉积镀膜和溅射沉积镀膜,具体则包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,溶胶凝胶法等等
一、对于蒸发镀膜:
一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来,并且沉降在基片表面,通过成膜过程(散点-岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。
为什么真空镀膜可以做成不同的颜色,还有七彩色?
因为在真空蒸镀完之后还要喷一层UV光油面漆,这层面漆上可以做不同的颜色。蒸镀通过镀一些硅化物可以做成七彩色,但比较薄,近看可以,远看不明显,;溅射通过CSi、CO、Si等物质进行反应镀可镀出七彩色,或者通过低温多层不同颜色的镀膜来呈现多彩。更为强大的是经过真空镀膜的手机还有、防污染、防静电、防辐射的作用。
而水电镀的一般为金属本色,要呈现其他颜色的需要涂UV面漆然后UV照射。
我们采用的是纯度在99.99%以上左右的锡或铟及铟锡合金。厚度在30纳米以下的锡,连续性相当的差,但能取得银白色金属光泽并具有较大的电阻。①电阻加热源:用难熔金属如钨、钽制成舟箔或丝状,通以电流,加热在它上方的或置于坩埚中的蒸发物质,电阻加热源主要用于蒸发Cd、Pb、Ag、Al、Cu、Cr、Au、Ni等材料。铟也是一样,但铟的银白色反光率更胜于锡的外观,因为价格较高,我们采用铟锡合金,这样既能得到不导电膜又能得到更白更亮的反光金属效果!镀铟锡不导电膜都是半透明的,所以我们要求被镀基材为透明或黑色为佳。因为镀铟锡都是在250度就开始溶化,所以蒸发的温度也相对较低,这样加热熔化及蒸发的电流和时间相对也较低。