





直流溅射法
溅射过程中涉及到复杂的散射过程和多种能量传递过程:入射粒子与靶材原子发生弹性碰撞,入射粒子的一部分动能会传给靶材原子;某些靶材原子的动能超过由其周围存在的其它原子所形成的势垒(对于金属是5-10 eV),从而从晶格点阵中被碰撞出来,产生离位原子;这些离位原子进一步和附近的原子依次反复碰撞,产生碰撞级联;当这种碰撞级联到达靶材表面时,如果靠近靶材表面的原子的动能大于表面结合能(对于金属是1-6eV),这些原子就会从靶材表面脱离从而进入真空。


磁控溅射镀膜机
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目前国内窗膜行业的批发商及终端店很多人都吃过磁控镀银膜氧化的亏,产品卖出后几个月,开始大面积氧化,需要赔偿,磁控溅射镀膜机厂家,甚至还失去了客户。特别是NSN系列在13、14年出的问题特别多,搞得很多人谈磁控膜色变的地步。而在15、16年后,问题得到解决。慢慢地就没多少氧化问题出现了。这也让很多刚接触磁控膜的人以为磁控膜都是镀银的膜,一说磁控膜就问会不会氧化。其实大可不必担心,大部分的侧档都不是银的,请放心使用。且这两年的技术进步,国内各磁控工厂也找到了解决氧化的方法。其实在玻璃镀膜行业,早就解决了氧化问题,我记得早期的low-e玻璃在镀膜后必须在24小时内合成中空,不然就会氧化。当时low-e与中空都是镀膜厂做的,下边玻璃加工厂根本无法介入,而现在镀膜厂只需生产玻璃镀膜原片。且玻璃原片爆露在空气中可达6个月以上,都不会氧化。这样中空玻璃,一些门窗厂,幕墙公司、小规模的玻璃深加工工厂,磁控溅射镀膜机,都可以生产low-e中空玻璃了,加上***政策的支持与引导,大大的加快了low-e玻璃的发展与普及。做窗膜磁控溅射镀膜的应多去看看玻璃行业的low-e镀膜,多些交流。毕竟生产原理是一样的东西,技术是相通的。很多东西是可以套用的,low-e镀膜得到了规模化的发展,技术工艺已非常成熟了。窗膜磁控溅射镀膜终是要与玻璃配套的,如何与玻璃上直接镀膜做差异化发展,才是正道。就目前来说,仅从隔热性能、保温性能上与玻璃对抗,是不可能有成本上优势的。但都是镀膜,如何做差异化,我目前也只是抛砖引玉,只有大家一起开动脑袋了。
磁控溅射镀膜机的注意事项
1、保持机器内舱各部位的清洁;
2、关注真空度指标;
3、检查并记录抽真空的时间,磁控溅射镀膜机工作原理,如有延长,立刻检查造成的原因;
4、记录溅射功率和时间(一般溅射机的银靶设定功率为0.6千瓦,金靶的设定功率为0.75千瓦,铬的行走速率为9000pps),磁控溅射镀膜机哪家好,如有异常,立刻检查造成的原因;
5、根据镀出石英振子的散差,调整遮挡板的各部尺寸;
6、溅镀后的石英振子要用3M胶带检查其牢固度;
7、测试并记录镀好的石英振子主要指标,如:频率、电阻、DLD等;
8、将不良品挑出:电极错位、划伤、脏污、掉银等(工位上要有不良品示意图)。
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