真空设备检漏与维修
深圳锐诚真空技术有限公司座落于广东深圳，在北京、浙江设有******。是一家专门从事各种真空应用设备制造，集研发、生产和销售于一体的民营高科技企业。主营产品：真空设备，检漏仪，微水仪，真空箱检漏，lng抽真空系统，非标真空设备，真空标准件以及真空设备的维护***。
真空箱检漏真空箱检漏
为什么要检漏
泄漏和密封相对应
很多情况下，我们需要密封住一定的空间，防止气体或液体在压力的作用下，流进或流出这个空间。如真空设备（真空镀膜机，液晶注入机，PVD，真空箱检漏设备价格，半导体外延等等），需要在真空条件下工作，要求在工作时，空气不能漏进工作腔体，否则生产不能进行，或者产生次品，浪费人力物力。另外装液体或气体的容器（液压气瓶，氧气瓶，空调冰箱中的雪种容器等等），要求在容器内外存在压差的情况下，不能有气体或液体漏出。如果有漏，后果严重，一般会造成有效物资的浪费，如***物资、腐蚀性气体漏出，甚至会酿成事故。
这些对密封性有要求的产品或设备，在投入使用前，就要***行检漏，使用中也要定期进行检漏检查。
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真空设备氦检漏
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(1)工作原理与结构
氦质谱检漏仪由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。
①单级磁偏转型氦质谱检漏仪
现以HZJ—l型仪器为例．介绍单级磁偏转型氦质谱检漏仪。
在质谱室内有：由灯丝、离化室、离子加速极组成离子源；由外加均匀磁场、挡板及出口缝隙组成分析器；由***栅、收集极及高阻组成收集器；级放大静电计管和冷阴极电离规。。
在离化室N内，气体电离成正离子，在电场作用下离子聚焦成束。并在加速电压作用下以一定的速度经过加速极S1的缝隙进入分析器。在均匀磁场的作用下，具有一定速度的离子将按圆形轨迹运动，其偏转半径可计算。
可见，当B和U为定值时，不同质荷比me-1的离子束的偏转半径R不同。仪器的B和R是固定的，调节加速电压U使氦离子束恰好通过出口缝隙S2，到达收集器D，形成离子流并由放大器放大。使其由输出表和音响指示反映出来；而不同于氦质荷比的离子束[(me-1)1(me-1)3]因其偏转半径与仪器的R值不同无法通过出口缝隙S2，所以被分离出来。(me-1)2=4，即He 的质荷比，除He 之外，C卅很少，可忽略。
②双级串联磁偏转型氦质谱检漏仪
由于两次分析，减少了非氦离子到达收集器的机率。并且，如在两个分析器的中间，即图中的中间缝隙S2与邻近的挡板间设置加速电场，使离子在进入第二个分析器前再次被加速。那些与氦离子动量相同的非氦离子，虽然可以通过个分析器，但是，经第二次加速进入第二个分析器后，由于其动量与氦离子的不同而被分离出来。由于二次分离，仪器本底及本底噪声显著地减小，提高了仪器灵敏度。
③逆流氦质谱检漏仪
逆流氦质谱检漏仪是根据油扩散泵或分子泵的压缩比与气体种类有关的原理制成的。例如，多级油扩散泵对氦气的压缩比为102；对空气中其它成分的压缩比为lO4～106。检漏时，通过被检件上漏孔进入主抽泵前级部位的氦气，仍有部分返流到质谱室中去，并由仪器的输出指示示出漏气讯号。这就是逆流氦顷质谱检漏仪的工作原理。
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真空设备检漏
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氦气质谱分析仪：该方法就是在负压法的基础上，采用质谱仪来进行检漏，其连接方式有多种，根据实际的使用，对为通用和检漏本Di的方式进行说明，该方法可以对漏点进行位置的确定和泄漏量的判断。
其工作原理为:开始主要由真空系统对腔体进行抽真空，当真空度达到检漏仪起测点后，开启检漏仪，检漏仪本身也是一组由小型分子泵和机械泵组成的真空系统，真空箱检漏设备报价，其开启后也参与腔体的抽气工作，此时，检测人员，就可以采用氦气对腔体中所有接口及焊缝进行吹气，如果有漏点存在，当氦气经过此位置时，就会有少量的氦气随同空气进入腔体，再由真空管路抽走，此时，会有少量的氦气进入检漏仪中，检漏仪内部的氦气质谱仪，就会检测到氦气的存在，通过报警器发出报警，提示检测人员在此位置附近存在泄漏点。由于，氦气的密度小，在大气中其会向上飘散，故此，在吹气检测时，应从设备上部开始吹气，以便漏点的位置确定。在进行双层夹套的检漏时，可以将夹套作为***的腔体进行单独抽真空检漏，实现对内外壁的一次性检测。由于目前检漏仪技术足以做到使真空系统的漏气量远小于系统的放气量，因此真空系统所需要的真空泵的大小主要取决于真空系统所使用的材料放气率的大小。所以，针对不同类型的内胆材料需要真空泵的抽速也会不尽相同。
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