风压测试仪器：主要用于测定洁净室之间和洁净与非洁净区之间微压差，也可利用压差法测量风速，计算风量。
(1)液体压力计：液体压力计具有使用方便、价格低廉、精度较高、制造安装方便等优点，但有测量范围受限制、玻璃管易碎等缺点。
常用的工作液体有：酒精、水等，在洁净室测量中主要是酒精和水。
液体压力计主要有：U型管压力计、斜管压力计、补偿式压力计。
(2)弹簧压力计：弹簧压力计是根据弹簧元件在所测压力作用下发生变形，其变形量与所测压力成函数关系这一原理制成的，其优点是构造简单、便于携带、安装方便、价格低廉。常用的弹簧压力计主要有：弹簧管压力计、膜片管压力计和膜核压力计。
(3)电学压力计： 电学压力计是利用压电原理或高压下电阻变化等电学方法来测定压力的压力计，适用于测量变化极快、数值很高或近乎真空时的压力。
无尘室(Clean Room)，亦称为无尘室或清净室。它是污染控制的基础。控制空气悬浮微粒浓度，从而达到适当的微粒洁净度级别。无尘室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、***空气、***等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。
控管项目1. 能除去空气中飘游之微尘粒子。
⒉ 能防止微尘粒子之产生。
⒊ 温度和湿度之控制。
⒋ 压力之调节。
⒌ ***气体之排除。
⒍ 结构物与隔间之气密性。
⒎ 静电之防制。
⒏ 电磁干扰预防。
⒐ 安全因素之考虑。
⒑ 节能之考量。
⒒照度的的调节
