洁净空调系统为了使洁净室内保持所需要的温度湿度、风速、压力和洁净度等参数，的方法是向室内不断送入一定量经过处理的空气，以消除洁净室内外各种热湿干扰及尘埃污染。
洁净空调系统基本由下列设备构成1、加热或冷却、加湿或去湿以及净化设备；2、将处理后的空气送入各洁净室并使之循环的空气输送设备及其管路；3、向系统提供热量、冷量、热源、冷源及其管路系统。
洁净空调机组
净化空调机组的结构特性有：
表面冷却器的冷凝水排出口，应设能自动防倒吸并在负压时能顺利排出冷凝水的装置。在除湿工况时应在系统运行3MIN内排出水来。凝结水管不能直接与下水道相接。
各级空气过滤器前后应设置压差计，新风净化型空调机组，测量接管应通畅，安装严密。
不应采用淋水式空气处理器。当采用表面冷却器时，通过盘管所在截面的气流速度不应大于2M/S。
空调机组中的加湿器宜采用干蒸汽加湿器，洁净净化型空调机组，在加湿过程中不应出现水滴。加湿水质应达到生活饮用水卫生标准。加湿器材料应抗腐蚀，咸阳净化型空调机组，便于清洁和检查。
空调机组中的加湿器宜采用干蒸汽加湿器，吊顶式净化型空调机组，在加湿过程中不应出现水滴。加湿水质应达到生活饮用水卫生标准。加湿器材料应抗腐蚀，便于清洁和检查。
加湿设备与其后的空调设备段之间要有足够的距离。Ⅰ～Ⅲ级洁净用房净化空调系统的过滤器之前系统内的空气相对湿度不宜大于75%。
空调机组箱体的密封应可靠。当机组内保持1000PA的静压值时，洁净度等于或高于1000级的系统，箱体的漏风率不应大于1%；洁净度低于1000级的系统，箱体的漏风率不应大于2%。
半集中式洁净空调系统 ，是一种把空气集中处理和局部处理结合的系统形式，它既有象分散式系统那样，各洁净室能就地回风而避免往返输送，又有象集中式系统那样按需要供给各洁净室经空调处理到一定状态的新风，有利于洁净空气参数的控制。随着生产工艺的发展，人们对洁净室要求也不同了。人们希望在一个洁净室内实现不同洁净度分区控制。
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