




高纯氮气在冶金、电子行业中的应用
高纯氮气在冶金行业中的运用近些年,我国冶金行业得到了较快发展,与此同时,***对产品的品质要求也在不断上升,冶金行业中的热处理技术较为落后,这就导致大部分冶金行业都在寻求一种全新的控制气氛热处理的气源,探索气源控制的途径,从而促进冶金行业发展。由于人们的需求与不断探索,氮气热处理技术开始兴起,也就是利用高纯氮气促进冶金行业发展,***也将氮基气氛热处理技术作为重要技术升级与改造的***。
高纯氮气在冶金工业中运用范围较广,例如工厂利用高纯氮气作为主要保护气体进行轧钢、镀锌等处理,尤其是在进行薄钢片的处理过程中,高纯氮气的运用十分关键。冶金行业在发展过程中,使用高纯氮气保护加热退火与热处理等技术的发展都有着长足的进步空间,并对冶金加工业的生产起到了重要推动作用,由此可见,这些技术的发展为氮基气氛热处理指明了发展方向。氮基气氛热处理是一种全新的工艺,较传统工艺相比,这种工艺具有效率、环保等特点,能够将工业生产中对环境造成的影响降低。

电子气体的分类
一般电子气体可划分为大宗普通气体、特种气体和大宗特种气体。目前电子消费品的种类繁多以及升级换代日趋频繁,同类产品的不同制造规模、不同级别档次的生产工厂和科研机构共存。
大规模供气系统主要针对大规模量产的超大规模集成电路厂(气体种类包括等),以上的太阳能电池生产线(气体种类包括发光二极管的磊晶工序线(气体种类包括,代以上液晶显示器工厂(气体种类包括,光纤(气体种类包括硅材料外延生产线(气体种类包括等行业。它们的***规模巨大,采用***的工艺制程设备,用气需求大,对稳定和不间断供应、纯度控制和安全生产提出严格的要求。上述工厂的大宗普通气体多采用现场制气或工业园区管道集中供应方式,一个年产万片的超大规模集成电路厂高纯氮气的需求超过,发光二极管的磊晶工序线和硅外延生产线的氢气需求超过。除了普通钢瓶(及以下)包装的特种气体外,还有多种类的特种气体都普遍采用大包装容器,由此它们被称为大宗特气,包括钢瓶集装格罐等。



高纯气体管道配管及附件材料的选择要点
高纯度气体由管道输送,能否将高纯气体送至用气点仍保持质量合格的关键是供气系统设计合理、管件及附件选择正确、施工安装正确和试验检测合格。
高纯气体管道输送管道,要根据工艺过程对气体纯度、允许的杂质含量、微粒含量等的要求不同,采用相应质量的管材。比如半导体产业因其生产工艺复杂、加工精细,它不仅要求有洁净的生产环境,而且对生产过程中所需的各种高纯气体有特定的、严格的要求,从微米技术进入亚微米、深亚微米(小于0.35g.m)技术,对气体中的杂质含量、水含量要求极为严格,10 -6(ppm级)已经不能达到要求,需要达到10-9(ppb级),甚至10-12(ppt级)。因此输送管道本身的管道材料特性适应高纯、超高纯气体的要求成为必须。
