纳米氢气泡水机-朗派科技-纳米氢气泡

在回到清洁半导体之前，我想介绍另一个有趣的微纳米气泡现象。 它是自由基的产生。

大约20年前，当我开始这项研究时，我使用一种现象作为参考模型。 它是通过超声波产生的活性物种。 水中的超声波辐射伴随着强烈的声压波动，从而导致空化效应。 产生微纳米气泡并迅速崩溃（压碎）。 如上所述，当微纳米气泡变小时，内部压力与粒径成反比地上升。 当超声波产生的微纳米气泡时，内部压力的升高非常快，纳米氢气泡，因此认为其效果接近绝热压缩。 结果，在的瞬间形成了非常高的温度场，并且温度迅速升高。 这就是所谓的极限反应场的形成，结果，一部分水分子被热分解以产生诸如羟基的活性物种。

小气泡的行为与正常气泡不同。 普通气泡在水中迅速上升，在表面并消失。 但是，纳米氢气泡水机，当气泡的直径小于50μm时，气泡会缓慢上升和收缩，直到消失在水中。 在水中变小而消失的气泡在这里称为微纳米气泡。

微纳米气泡在水中迅速收缩的原因是由于小气泡，气泡内部的气体有效地溶解在周围的水中。 气泡的减少意味着“气-液界面”的改变，这具有重要的工程意义。 即，纳米氢气泡发生器，是气泡的内部压力的上升和表面电荷的集中，这是微纳米气泡对起作用的固体表面的清洁效果的体现。

在单晶片处理中，将微纳米气泡倒入转盘的中心，但是将光致抗蚀剂从周围环境剥离。为了进一步研究该机理，我们使用氧气微纳米气泡对外壳进行了光致抗蚀剂去除测试。但是，在这种情况下，纳米氢气泡spa仪，无法移除。即使使用SPM也很难处理，这似乎是很自然的结果，但是有可能发现一种有趣的现象。

它是照片如图9所示。尽管含有氧微纳米气泡的超纯水沿固定方向流动，但是在抗蚀剂图案中水从正面碰撞的侧面的抗蚀剂中观察到变化。由于减少气泡的过程而变成一团电荷的微纳米气泡可能对抗蚀剂3）产生一些影响。