激光干涉仪的开发，给机床工业提供了高精度的标准，适用于各种型号和规格的机床。
使用激光干涉仪测量，必须要考虑到的误差源：
一、 环境误差。激光干涉仪的绝1对精度取决于周围条件的精1确程度（或者说环境的稳定程度）。环境温度每产生1℃的变化，绝1对压力每产生2.5mmHg或相对湿度每产生30%的误差时，都将会导致约1PPM（百万分子一）的测量误差。这些误差利用人工补偿或激光干涉仪所配的自动补偿装置可部分克服。因此检测期间保持这些条件的稳定非常重要。
二、 机床表面温度。即机床本身温度变化的影响。对于用钢制丝杠***滑鞍的机床，激光干涉仪厂家联系方式，丝杠理论热膨胀系数为10.8PPM/℃，激光干涉仪厂家联系方式，即温度每升高1℃，他将膨胀近10.8微米/米。
如何正确运用激光干涉仪提高数控深孔钻机床***精度
周期性曲线
周期性曲线是整个轴线长度上的重复周期误差。沿轴的俯仰保持不变，但幅度可能变化。导致周期性曲线的可能原因主要是机床方面的问题，如丝杠或传动系统故障、编码器问题或故障、长型门式机床轨道的轴线直线度。
针对以上问题建议采用很小的采样点间隔在一个俯仰周期上再测量一次，确认俯仰误差。作为一项指导原则，如果你要检查的是机床某元件的周期性影响，可将采样间隔设为预期周期性俯仰的1/8，然后通过比较机床丝杠的螺距、齿条的齿距、编码器、分***或球栅尺俯仰、长型门式轨道的支撑点之间的距离等来确认可能的误差来源。
双频激光干涉仪在形位误差测量上的应用
（1）双频激光干涉测角
双频激光干涉仪光路系统中的偏振分光镜、参考镜和测量镜，分别换成双膜块组合角锥反射棱镜和角锥反射棱镜，就可以构成双频激光干涉测角仪。其测量原理为：当具有偏振方向垂直，激光干涉仪厂家联系方式，且频率分别为f1和f2的偏振光入射到偏振分光镜后，其中垂直偏振光f2被反射，经棱镜再反射到达角锥反射棱镜，由角锥反射棱镜反射后回到偏振分光棱镜，而水平偏振光f1透过偏振分光镜后到达角锥反射棱镜，由角锥反射棱镜反射后回到分光镜，两光束在偏振分光棱镜重新会合形成拍频，经检偏器后由光电接1收器接收。当双角锥棱镜组在移动过程中没有发生摆动时，两束光的***频差不变，拍频不变。如果，移动过程中双角锥棱镜组发生摆动，则相当于两个角锥棱镜的移动不一致，出现距离差。根据线度角度的几何关系，激光干涉仪，可以测出摆角的大小。由上述原理构成的SJD型双频激光干涉仪用于测量角度时，其分度值为0.1″，当测量范围为±100″时，测量精度为0.5″
(2) 双频激光干涉仪测直线度误差
双频激光干涉仪与光学附件双面反射镜、沃拉斯顿棱镜等配合，可以构成直线度测量系统，由于此法已经在工程测量中广泛应用，且原理与测角系统基本类似。
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