




半导体废气处理设备
废气介绍:由于半导体工艺对操作室清洁度要求极高,通常使用风机抽取工艺过程中挥发的各类废气,因此半导体行业废气排放具有排气量大、排放浓度小的特点。废气排放也以挥发为主。这些废气主要可以分为四类:酸性废气、碱性废气、有机废气和***废气。
废气危害:半导体制造工艺中产生的废气如果没有经过很好的处理进行排放,将造成严重的问题,不仅影响人们的身体健康,生物废气处理设备,恶化大气环境,造成环境污染的公害事件等,也会成为半导体制造中AMC污染的重要来源。
废气处理设备处理方法:依据这些废气的特性,在处理上采用水洗、氧化/燃烧、吸附、解离、冷凝等方法,针对不同污染物,可采取以下综合处理方法:1.一般排气系统 2.酸性、碱性废气处理系统 3.有机废气处理系统。
废气处理设备
工业废气处理离心风机设备的应用和性能特点,离心风机可制成右旋和左旋两种型式。从电动机一侧正视,叶轮顺时针旋转,废气处理设备,称为右旋转风机,逆时针旋转,称为左旋.离心风机的应用:离心风机广泛用于产业机械如塑料机械、w设备、包装机、收缩机、热风烤箱、曝膜机、压膜机、大型印刷机等多种机械作干燥、送热、散热等用途;也可用于冷暖设备、冷冻食品机械、一般工厂、无菌室等环境作空调、冷暖循环、排送风、通风等用途;亦可用于厨房油烟抽风设备,废气净化处理设备,房if}通风设备;还可用于充气设备,功能相当广泛多样。废气处理设备
废气处理方式:低温等离子法、活性炭吸附法、光催化裂解法、生物分解法、燃烧法。
1.低温等离子法:
利用含高能量活性基团的等离子体分解废气分子,生成二氧化碳和水,从而达到净化废气的目的。
2.活性炭吸附法:
通过活性炭直接吸附有机气体。
3.光催化裂解法:
采用高能光波管与TIO2相互作用,在光波净化设备内,将污染物裂解,氧化。
4.生物分解法:
利用循环水流,将污染物溶于水中,再由水中培养的微生物降解为低害物质。
5.燃烧法:
通过焚烧炉,催化燃烧装置,高温燃烧去除废气中的***物质。江苏山淼环境***涂装喷漆有机废气处理。
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