废气处理的原理包括活性炭吸附法，催化燃烧法，催化氧化法，酸碱中和法，等离子体法等。 废气处理方法之一掩蔽方法，除臭原理：使用较强的芳香气味和气味混合来掩盖气味，使其可以被人们接收。 适用范围：适用于需要立即暂时消除低浓度恶臭气体影响的场合。 恶臭强度约为2.5，并且没有***排放源。 优点：可以尽快消除恶臭效果，灵活性高，成本低。 缺点：恶臭成分尚未除去。
在环保排查过程中，不少企业往往会遇到这样的情况：厂房明明有VOCs治理设备在运行，之前第三方检测机构也出具了达标检CMA报告，但实际上经过比对检测后，依然有排口不达标的情况。
有机废气预处理不当，油雾或漆雾等颗粒物进入低温等离子体净化设备，沉积在电极或器内壁，累积到一定水平之后可能会造成设备着火。一些化合物在低温等离子净化器产生聚合反应，在电极或器壁沉积结焦，累积到一定水平也会引起设备着火。
当有机废气浓度高于下限，***盐酸废气处理工厂，并存在点火源时，则废气处理系统可能会引发。其实，废气处理设备如蓄热式热力焚烧炉（RTO）等设备本身一般不会产生事故，因此企业应重视废气处理系统有机废气浓度的检测和预处理，并考虑事故状态下的紧急排放和处理，确保有机废气处于安全浓度以下，消除的根源。
蓄热式热氧化(简称RTO) 回收热量采用一种新的非稳态热传递方式。主要原理是: 有机废气和净化后的排放气交替循环， 通过多次不断地改变流向， 来地捕获热量， 蓄热系统提供了蓄热式热氧化/ 催化燃烧高的热能回收， 在某个循环周期内， 含 的有机废气进入RTO 系统， 首***入耐火蓄热床层(该床层已被前一个循环的净化气加热) ， 废气从床层 吸收热能使温度升高， 然后进入氧化室; VOC 在氧化室内被氧化成CO2 和H2O ， 废气得到净化; 氧化后的高温净化气离开燃烧室， 进入另一个冷的蓄热床层 ， 该床从净化排放气中吸收热量， 并储存起来(用来预热下一个循环的进入系统的有机废气) 。并使净化排放气的温度降低。此过程进行到一定时间， 气体流动方向被逆转， 有机废气从床层进入系统。此循环不断地吸收和放出热量， 作为热阱的蓄热床也不断地以进口和出口的操作方式改变， 产生了热能回收， 热回收率可高达95 % ， VOC的消除率可达99 %。
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