分散式洁净空调系统，对于一些生产工艺单一，洁净室分散，不能或不宜合为一个系统，或各个洁净室无法布置输送系统和机房等场合，应采用分散式洁净空调系统[3] ，在该系统中把机房、输送系统和洁净室结合在一起，自成系统。在分散式洁净空调系统中，在各个洁净室或邻室内就地安装净化和空调设备或净化空调设备。 净化空调设备可以是一个定型机组产品，它具有净化功能，但处理的风量较少，往往不能满足较高洁净度的洁净室所需风量，系统处理过程往往是一次回风系统。
洁净空调机组
在半导体电子工业、行业、精密仪器工业和生物实验室等对空气有高品质要求的空调领城，通常将空气过滤器与空调机组组合在一起，构成洁净空调机组，一般有柜式净化空调机组、组合空调机组和净化新风机组三种类型。
1、柜式净化空调机组 （1）结构原理 柜式空调机组是一种能提供恒温恒湿，临汾洁净空调机组，并对空气进行净化的空调机组。其外形像一个大立柜，机组自带冷 源，包括压缩机、冷凝器、换热器、加热器、加湿器、离心风机及自动控制装置。在空调机组的回风口及出风口设有过滤器，***洁净空调机组，并在过滤器前后设有压差开关。
净化空调机组，带有空气过滤器的空调机组。
净化空调机组内表面及内置零部件应选用耐消***腐蚀的材料或面层，材质表面应光洁。内部结构应便于清洗并能顺利排除清洗废水，不易积尘和滋生。 表面冷却器的冷凝水排出口，应设能自动防倒吸并在负压时能顺利排出冷凝水的装置。在除湿工况时应在系统运行3MIN内排出水来。凝结水管不能直接与下水道相接。
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