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真空泵的选择及抽速计算
(1)计算真空泵的有效抽速S (L/s)。
根据真空系统要求的工作压力pg、真空系统的总气体量Q,干式真空泵厂家,计算泵的有效抽速
S=Q/pg
式中,Q为真空系统的总气体量,干式真空泵,Pa. L/s,包括真空系统工作过程中产生的气体量、真空系统及真空元件的放气量和真空系统的总漏气量。
通常将按此式计算出的有效抽速S增大20%~30%或更大作为主泵的名义抽速。
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按性能特点和用途分类
(1)低真空泵
泵的极限压力高于102Pa的真空泵属于低真空泵。常见的低真空泵有往复式真空泵、旋转式真空泵、液环式真空泵、喷射式真空泵以及吸附式真空泵。
(2)中真空泵
极限压力在102~-10-1Pa的真空泵属于中真空泵。常见的有罗茨真空泵、多级喷射式真空泵、多级旋转机械真空泵以及高速旋转式机械真空泵等。
(3)高真空泵
极限压力在10-1~10-5Pa的真空泵属于高真空泵。常见的高真空泵有各种扩散泵及分子泵等。
(4)超高真空泵
极限压力低于10-5Pa的真空泵属于超高真空泵。超高真空泵主要有各种离子泵、低温泵等。
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确定真空泵的抽速。
根据有效抽速S以及泵与真空室之间的连接管道的流导U确定主泵的抽速Sp。由流导串联公式有
1/S=1/Sp 1/U
(3)根据被抽气体种类、成分、温度以及气体含灰尘杂质情况选真空泵 。
(4)根据真空室对油污染要求的不同,来选择有油、无油、半无油、干式、湿式真空泵。干式真空泵适合于要求无油或工作液、或对工作液储存和处理费用比较关切等场合。
(5)根据***及日常维护运转的经济指标来选择。
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