***显影工厂-利成感光(在线咨询)-***显影

基板S沿图中X轴方向移动，由CXD影像处理器22撷取视野内影像，CCD影像处理器22根据该影像计算偏移量，即，基板S边缘Rl与CCD影像处理器22的边缘R2之间的偏移量Λ y，***显影设计，并将该偏移量的信息提供给驱动装置23，驱动装置23根据接收到的偏移量的信息提供相应的输出量，带动与驱动装置23的输出端连接的边缘***机21沿Y轴方向移动，与基板S边缘Rl对齐，从而进行准确的边缘曝边。


***及显影设备还包括主体***机10、基板输送机构50及传送装置40。主体***机10用于先对基板S的主体进行***。传送装置40用于将来自该主体***机10的基板S传送至基板输送机构50，传送装置40例如为机械手臂。基板输送机构50用于将基板S输送至显影装置30，基板输送机构50例如为输送辊。由于该基板的长边边缘容易存在残留光阻，***显影工厂，因此，***显影工艺，本公开通过设置对应于基板的长边边缘的边缘***装置20，即可去除绝大部分的残留光阻。


蚀刻法之所以被应用是因为它有很多优势。⑴它不需要电极、母型等工具，***显影，故无需此等工具之维护费。⑵由规划到生产间所需时间短，可作短期加工。⑶材料之物理、机械性质不受加工影响。⑷加工不受形状、面积、重量之限制。⑸加工不受硬度、脆性之限制。⑹能对所有金属例如，铁、不锈钢、铝合金、铜合金、镍合金、钛、合金)实施加工。⑺可加工。⑻可施复杂、不规则、不连续之设计加工。⑼面积大，加工效率良好，但小面积时，其效率比机机械加工差。并且水平向之切削易得。


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