国际市场对空气过滤器的需求量很大，且每年均有增长，目前日本每年销售超过100万台，按每台平均价格200美元计算，销售额达2亿美元。我国空气过滤器市场需求量已接近每年10 万台，占国际市场的2%~4%，但至今还没有0.1微米ULPA过滤器生产，用于超大规模集成电路生产洁净厂房及各种高科技领域洁净厂房的0.1微米ULPA过滤器目前还要依赖进口。
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5、排水设备附件及小型排水构筑物：对于跨度较大的洁净厂房，其生产排水横管往往较长，超过了规范允许的尤大长度，为了清通方便，往往在排水横管上，每隔一定距离设一清扫口，清扫口尽量设在非净化区，净化工程，如不能避免要在净化区设置，清扫口要选用易清洁的全铜制品。洁净室尽量不设地漏，若工艺需要设置，亦尽量少设，且应选用材质不易腐蚀，内表面光洁，不易结垢，有密封盖，开启方便，能防止废水废气倒灌的洁净地漏。另外，为了顺利收集排水，保持地面清洁地漏的顶面标高应低于周围地面5~10mm。为了防止通风系统正常工作时，室内洁净空气通过排水管向外渗漏；而当通风系统停止工作时，室外非洁净空气向室内倒灌，影响洁净室的洁净度、温湿度，并消耗洁净室的能量，与排水管相连的各个排水点均应设水封装置，水封深度不得小于50mm。这是维持洁净室内各项技术指标的一个重要措施。为了进一步防止这一现象的发生，同时也为防虫防鼠，洁净区排水出户管末端在接到室外检查井之前，往往还增设水封井。
6、循环水系统：为了保护水资源以及降低生产成本，用于生产设备的冷却水，其使用前后，除了出水水温有了较大的提高，净化工程厂家，水质变化不大，经冷却塔降温处理后，可重复使用。需要指出的是，由于循环冷却水在循环过程中会产生蒸发、风吹等水量损失，造成了水的浓缩，含盐量增加，直至沉积；以及水中微生物繁殖和尘埃悬浮物、腐蚀剥落物及其它杂质，洁净净化工程，形成沉积物，为提高设备热交换率及延长设备寿命，循环冷却水需进行水质处理。
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