





湖北丰热科技有限公司(原武汉离子热处理研究所),***制造辉光离子渗氮炉的高新技术企业;是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉,并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。
针对辉光离子渗氮炉热处理的全自动控制等方面的课题,公司坚持走科研成果产业化、产学研结合的道路。实现了辉光离子渗氮炉真正的全自动控制,即用户在使用辉光离子渗氮炉时,只需在触摸屏上点击启动键,所有的操作步骤会由程序自动控制。
离子渗氮是在低真空含氮气氛中,利用模具(阴极)和阳极之间产生的辉光放电进行渗氮的工艺,与气体渗氮相比工作环境好。由于离子氮化法不是依靠化学反应作用,而是利用离子化了的含氮气体进行氮化处理,所以工作环境十分清洁而无需防止公害的特别没备。根据10ns暴光的ICCD拍摄的放电图像,Radu小组发现,在大气压惰性气体He、Ne、Ar、Krypton的DBD间隙中,可以实现辉光放电。因而,离子氮化法也被称作“绿色”氮化法。
用于磁控溅射镀膜气体放电的交流电源主要有双极性脉冲(矩形波或正弦波)中频靶电源与射频靶电源两大类别。?双极脉冲中频靶电源用于辉光放电?。矩形波或正弦波中频靶电源进行1气体辉光放电有很多共同特点
法国的Massines小组、加拿大的Radu小组和俄罗斯的Golubovskii小组对APGD的形成机理也进行了比较深入的研究工作。Massines小组对氦气和氮气的APGD进行了实验研究和数值模拟 ,除了测量外加电压和放电电流之外,他们用***时间仅10ns的ICCD相机拍摄了时间分辨的放电图像,用时空分辨的光谱测量记录了放电等离子体的发射光谱,并结合放电过程的一维数值模拟,他们认为,氮气中的均匀放电仍属于汤森放电,而氦气中均匀放电才是真正意义上的辉光放电,或亚辉光放电。APGD的研究方兴未艾,已经受到国内外许多大学和研究机构的广泛重视。他们还认为,得到大气压下均匀放电的关键是在较低电场下缓慢发展大量的电子雪崩。
