十万级净化车间标准
十万级净化车间标准一：尘粒大允许数≥微米的粒子数不超过350万个，≥5微米的粒子数不超过2万个。
十万级净化车间标准二：微生物大允许数，浮游菌数不超过500个/m；沉降菌数不超过10个/培养皿。
十万级净化车间标准三：压差。相同洁净等级的洁净室压差保持一致，对于不同洁净等级的相邻洁净室之间压差要≥5Pa，洁净室与非洁净室之间要≥10Pa（主要是为了保障空气从洁净区流向非洁净区，避免气流倒灌）。
洁净室的冷热源机组：
a.电驱动的压缩式制冷机。电驱动的压缩式制冷机主要以氟里昂、氨为制冷剂，民用制冷机大部分采用氟里昂作为制冷剂。相同洁净等级的洁净室压差保持一致，对于不同洁净等级的相邻洁净室之间压差要≥5Pa，洁净室与非洁净室之间要≥10Pa（主要是为了保障空气从洁净区流向非洁净区，避免气流倒灌）。按冷却介质的种类可分为空气冷却和水冷却两种形式，按压缩机种类可分为活塞式、螺杆式、离心式三种形式，按提供的冷源或热源情况可分为冷水机组和热泵机组两种形式。
b、活塞式冷水机组。达到要求的这样一个稳定生产环境即称为无尘车间，也叫洁净厂房、洁净室(CleanRoom）、无尘室。活塞式冷水机组由活塞式制冷压缩机、风冷式或水冷式冷凝器、热力膨胀阀和蒸发器等组成，并配有自动或手动能量调节和自动安全保护装置，常用的水冷活塞式冷水机组冷凝器进出水温分别设置为32℃、37℃，蒸发器出口冷冻水温度设置为7度，冷量范围一般为35～580kW。
洁净室之构成洁净室的构成是由下列各项系统所组成(在所组成的系统分子中是缺一不可的)，否则将无法构成一完整且品质良好的洁净室:(1)天花板系统:包括吊杆(Ceiling rod)、纲梁天花板格子梁。(2)空调系统:包括空气舱、过滤器系统、风车等。洁净车间的用途洁净车间之用途在于控制产品（如硅芯片等）所接触大气的洁净度以及温湿度，使产品能在一个良好的环境空间中生产、制造，此空间我们称之为净化车间。(3)隔墙板:包括窗户、门。(4)地板:包括高架地板或防静电舒美地板。(5)照明器具:LED净化平面灯。
洁 净 工 程：净化车间工程应用领域非常广泛，一般来说对环境要求比较严格、对空气洁净度要求高的企业都需要净化车间工程。洁净工程的发展：20世纪80年代大规模集成电路和超大规模集成电路的迅速发展，大大促进了洁净工程的发展，集成电路生产工程从64K位到4M位，特征尺寸从2.04m到0.84m。洁净室必须具备的条件送风洁净度：要保证送风洁净度符合要求，关键是净化系统末级过滤器的性能和安装。当时根据实践经验，通常空气洁净受控环境的控制尘粒粒径与线宽的关系为1:10，因此洁净工程工作者研制了超空气过滤器，可将粒径gt;0.1pm的微粒去除到规定范围。根据大规模、超大规模集成电路生产的需要，高纯气体、高纯水和高纯***的生产工程也得到很快的发展，从而使服务于集成电路等高工程产品所需的洁净工程都得以高速发展。
