氢气回收是指把工业生产过程中排出的氢气进行除尘、除油、除氧、除水等处理，氢气回收厂址，使氢气质量重新达到生产要求，二次循环使用的系统统称。将排出含有固体杂质和气体杂质的氢气，经过过滤器除大部分固体杂质，进入淋洗塔用水除去气体杂质、氨气，进入冷却系统进行热量交换，氢气回收，氢气由出炉时43~47℃下降到15℃，氢气在淋洗过程和冷却过程中除去90%左右的水份。
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低压氢气回收净化装置的工艺原理
氢气回收设备是将氢气中的氧、水、氨、油以及固体颗粒等杂质除掉，以满足氢气回收中对氢气纯度有较高要求的用户，主要用于冶金行业还原炉（如：钨钼粉的加工）、退火炉（如罩式炉）、镀锌工艺、氢气保护工艺中的氢气回收净化再利用。
低压氢气回收净化设备特点
1、采用PLC全自动控制；
2、系统关键点设置泄爆点，氢气回收批发，以防系统超压；
3、采用自力式稳压阀和薄膜调节阀联合控制，保证系统压力平衡；
4、系统压力和处理量采用变频控制，可根据需要任意设定，降低设备的运行成本；
5、系统设计过程中以节约运行成本为宗旨，充分考虑热量的回收再利用。
多晶硅尾气分离提纯设备工艺原理：
多晶硅副产的尾气中含有氢气、***、***、***、二氯二氢硅等组份，通过加压后，经过单级或多级变压吸附可将各组份进行分离提纯，以达到循环使用的目的。
多晶硅尾气气体分离技术特点：
1、根据实际工况，设计合理的生产工艺结构，全过程无泄漏，无腐蚀。
2、选用程控阀，可靠性高。
3、自动化程度高，无人值守。
4、可靠的安全性设计，确保操作和运行安全。
5、设备集成度高，精致美观。
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