在铺设塑料片或线圈表面之前,应根据尺寸和厚度对其进行预分类。片材或线圈应在表面涂有粘合剂。表面应该是水平的,不应泄漏或留下。此无尘室工程的工艺加工在微环境内无尘室的人员亦较少,可以认为无尘室内发生较低,这种情况下采用低的气流速度可能是可取的。施工现场应确保良好的通风和照明。对于改造工程,应对原有的电源和易1燃,易1爆有***体管道进行识别和建设,并对过程中使用的腐蚀性液体进行安全保护措施临时安装在净化工程中的设备应在不使用时关闭,以防止灰尘和碎屑进入净化工程。
对于半导体设备来讲,净化工程技术在微电子技术中起着十分重要的作用。微电子技术的核心是集成电路,而集成电路的生产对其工艺环境和工艺流程中的净化技术和设备提出了严格的要求。我国“九五”期间大力发展以微电子为***的信息产业。净化工程技术水平在某种意义上已成为衡量一个***和地区科学技术水平和工业水平的一个重要标志。om)亦称为无尘室或清净室,通常称洁净室的建造工程为净化工程。随着我国人民生活水平提高,人们对生存环境及生活质量提出了越来越高要求,用水纯化设备制备的高纯水已受到人们普遍欢迎,净化工程技术已开始进入千家万户,进入人们的现代生活。

对洁净度要求低的无尘室工程,有时换气次数决定于室内排热的要求。以上因素,皆很难量化,只能分析对比并估计。因此在工程应用中,对无尘室的气流速度往往参照有关规范、导则等的推荐或参考值,再按具体情况估计以上各影响因素进行综合考虑后确定。气流速度用于单向流无尘室;非单向流洁净室广泛用于电子工业、生物医1药工业和各种工业洁净室,这类洁净室的进化空调系统的送回风通常采用顶送侧回、顶送顶回等方式,在洁净生产区的技术夹层或技术夹道内布置送回风管、排风管和和各种公用动力管线等。非单向流无尘室宜用换气次数,因为其气流速度难于测准;亦有用末级过滤满布率来反映的,可用于各种气流流型的无尘室。

