半导体净化车间设计的设计范围
半导体净化车间设计的设计范围包括：装修方案（围护、地面防水保温处理），暖通方案（空调设备、风管、水管等），特气供应方案（特气柜含***控制、房间气体监测、EP级管道及BA管道、供气管路尾气处理），压缩空气方案，废气处理方案（仪器设备POU处理、房间排风废气处理），电气方案（空调设备动力配电等），弱电工程，集成控制智能平台，纯水方案（冷却水、去离子水、超纯水、水管等），废水处理。
洁净室施工管理制度要严格执行
施工方案：1.施工前确认工程设计图纸和技术要求，并与各***人员进行交流，讨论交叉作业时应该注意的问题。2.相关人员检查工程所用主要材料、设备是否合格，必要时要请业主参与检查。3.施工过程中加强进度控制及质量控制，洁净室施工管理制度要严格执行。4.要多注意风淋室的安装，有些净化公司的施工人员会接错点击的相序，导致风机反转，风速过小。5.因为二、三楼有许多板材都是立到楼板大梁底部，由于搬运及吊顶上部布满管线管道，所以板材都切割使用。
净化厂房的净化车间设备
净化厂房的净化车间设备：净化车间进风系统要安装新风过滤箱、净化空调末端要有送风口。必要时要安装净化增压箱。净化车间回风系统：回风口、过滤初效器、中效回风箱；净化车间前入缓冲区：缓冲区门安装电子互锁，更衣处放置洁净储衣柜、空气清新机净化厂房装修中人、货物进入净化车间必须经过风淋室（货淋室），传递窗传递小物品；净化厂房装修中在净化车间局部需要达到10——1000级的地方安装垂直层流工作台、层流罩（FFU）洁净棚（可移动式工作棚）、自净器。测无尘室洁净度用激光尘埃粒子计数器。
洁净室的建筑布局和净化空调系统有密切关系
洁净室的建筑布局和净化空调系统有密切关系，净化空调系统既要服从建筑总体布局，建筑布局也要符合净化空调系统的原则，才能充分发挥相关功能的作用。净化空调的设计者不仅要了解建筑布局以考虑系统的布置，而且要给建筑布局提出要求，使其符合洁净室原理。洁净室一般包括洁净区、准洁净区和辅助区三部分。外廊环绕式：外廊可以有窗和无窗，兼作参观和放置一些设备用，有的在外廊内设值班采暖。外窗必须是双层密封窗。
