真空检漏设备报价

真空泵真空设备检漏维修

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检漏仪原理图中14 检漏口的位置通常可以连接在图1 中虚线A 或B 的位置，真空检漏设备报价，因为这两处均能达到检漏仪检漏口小于1000 帕 的工作要求，对于粗检两个位置都能够达到要求，但对于系统的小漏，位置的选择则相当关键，对于核级锆铸锭的生产来说，当漏率介于0.65~1.5帕/min 时更要注意位置的选择。主要原因是由于：该型号的检漏仪分为检测大漏、中漏和微漏，当检漏口14的压强100 帕lt;Palt;1000 Pa 时检漏仪V1 和V2打开，氦气部分分子沿分子泵排气口逆流进入质谱室，因此只有当氦气分子较多时才能被检测到；当压强10 帕lt;Palt;100 Pa 时，检漏仪关闭V2，打开V3，V1 阀，此时氦气分子较多沿4 处分子泵进气口1 逆流进入质谱室中，可以检测到系统的中漏；当Pa lt;10帕 时，检漏仪关闭V3，打来V4、V1 阀，此时氦气分子大部分沿15 处分子泵进气口2 逆流进入质谱室中，达到检测微漏的效果。

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真空设备氦检漏

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(1)工作原理与结构

氦质谱检漏仪由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。

①单级磁偏转型氦质谱检漏仪

现以HZJ—l型仪器为例．介绍单级磁偏转型氦质谱检漏仪。

在质谱室内有：由灯丝、离化室、离子加速极组成离子源；由外加均匀磁场、挡板及出口缝隙组成分析器；由***栅、收集极及高阻组成收集器；级放大静电计管和冷阴极电离规。。

在离化室N内，气体电离成正离子，在电场作用下离子聚焦成束。并在加速电压作用下以一定的速度经过加速极S1的缝隙进入分析器。在均匀磁场的作用下，具有一定速度的离子将按圆形轨迹运动，其偏转半径可计算。

可见，当B和U为定值时，不同质荷比me-1的离子束的偏转半径R不同。仪器的B和R是固定的，调节加速电压U使氦离子束恰好通过出口缝隙S2，到达收集器D，形成离子流并由放大器放大。使其由输出表和音响指示反映出来；而不同于氦质荷比的离子束[(me-1)1(me-1)3]因其偏转半径与仪器的R值不同无法通过出口缝隙S2，所以被分离出来。(me-1)2=4，即He 的质荷比，除He 之外，C卅很少，可忽略。

②双级串联磁偏转型氦质谱检漏仪

由于两次分析，减少了非氦离子到达收集器的机率。并且，如在两个分析器的中间，即图中的中间缝隙S2与邻近的挡板间设置加速电场，使离子在进入第二个分析器前再次被加速。那些与氦离子动量相同的非氦离子，虽然可以通过个分析器，但是，经第二次加速进入第二个分析器后，由于其动量与氦离子的不同而被分离出来。由于二次分离，仪器本底及本底噪声显著地减小，提高了仪器灵敏度。

③逆流氦质谱检漏仪

逆流氦质谱检漏仪是根据油扩散泵或分子泵的压缩比与气体种类有关的原理制成的。例如，多级油扩散泵对氦气的压缩比为102；对空气中其它成分的压缩比为lO4～106。检漏时，通过被检件上漏孔进入主抽泵前级部位的氦气，仍有部分返流到质谱室中去，并由仪器的输出指示示出漏气讯号。这就是逆流氦顷质谱检漏仪的工作原理。

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泄漏检测是汽车工业生产中许多零部件质量保证的关键技术，为了适应大型自动化生产背景下的快速检测，设计研发了一套汽车零部件常压快速检漏系统。

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