就经济可行性来说，低温等离子体反应装置本身系统构成就单一紧凑，在运行费用方面，微观来讲，因放电过程只提高电子温度而离子温度基本保持不变，这样反应体系就得以保持低温，低温等离子设备所以不仅能量利用率高，而且使设备维护费用也很低。该设备在气态污染物治理方面优势显著。其基本原理是在电场的加速作用下，产生高能电子。
电能消耗
废气处理系统中的电能主要是风机电能消耗。因此在设备前期设计过程中首先要考虑废气处理设备与车间的废气源距离，减少风管长度，合理计算风量，减少进入废气处理的风量，减少转轮数量，避免设备选型过剩造成的电能浪费；其次考虑在设备运行中设置节能模式，设备的运行频率与车间的生产状态进行连锁等，再次在设备使用过程中使用人员合理的选择开机时间，使开机时间与车间生产设备步调一致。另外及时的更换设备滤材，减少风压造成的风机运行频率过大造成电能浪费等。
废气处理设备涉及废气浓度其安全性主要涉及转轮及RTO安全性。设备整体需考虑脱附管路中废气的浓度，管路中设置lt;LELgt;废气浓度检测仪及时反馈管路中废气浓度，遇到浓度超标时及时混新风降浓度排放。
沸石转轮作为沸石浓缩的重要组成部分，其主要成分主要是沸石及纤维纸为基材加工而成。纤维纸对温度的变化为敏感，因此设计及方案选择方面应注意温度。沸石转轮脱附区的高温气体温控要求，因此对阀门选型方面要求较高。选型方面考虑使用一次风或冷却风采用二次换热的形式达到高温脱附温度要求。
