




300D三源有机蒸发镀膜机
主要用途:
特别适合OPV/钙钛矿/无机薄膜太阳能电池、半导体、有机EL、OLED显示研究与开发领域。
系统组成:
主要由真空室系统蒸发室、蒸发源系统、样品台系统、 真空抽气及测量系统、气路系统、控制系统、膜厚测试 系统、电控系统组成。
技术指标:
极限真空度6.7×10-5Pa,系统漏率:1×10-7PaL/S; ***真空时间:40分钟可达6.6×10 Pa(短时间暴露 大气并充干燥氮气后开始抽气)
样品台:尺寸为4英寸平面样品;
蒸发源:3套
4套挡板系统:挡板共有3套,动密封手动控制;
气路系统:质量流量控制器1路
石英晶振膜厚控制仪:膜厚测量范围0-999999?
可选分子泵组或者低温泵组合涡旋干泵抽气系统
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多源蒸发系统介绍
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系统主要用来生长EL OEL分子有机电致发光器件薄膜的研究工作
该类设备为双室带手套箱结构的有机、无机、多源有机、无机气相分子沉积设备,采用直线式结构,由一个金属材料生长、氧化物生长室、一个有机材料生长室和一个手套箱组成,金属材料生长和氧化物生长室以及进样室/氧化物生长室之间通过空气锁联接,样品通过带远程手控盒功能的电动磁力耦合装置在两个生长室之间手动传递。多源有机无机蒸发系统想了解更多关于电阻热蒸发镀膜产品的相关资讯,请持续关注本公司。可选手套箱。
