万级无尘车间尘粒标准:
1、尘粒***大答应数(每立方米);
2、大或等于0.5微米的粒子数不得超越350000个,大或等于5微米的粒子数不得超越2000个;
3、微生物***大答应数;
4、浮游菌数不得超越100个每立方米;
5、沉隆菌数不得超越3个每培养皿。
压差:
相同洁净度等级的洁净室压差保持一致,对于不同洁净等级的相邻洁净室之间压差要≥5Pa,
洁净室与非洁净室之间要≥10Pa。
无尘车间
无尘车间主要作用在于控制产品所接触大气的洁净度及温湿度,使产品能在一个良好环境空间中生产、制造、测试、试验,提升产品质量,是污染敏感产品重要的生产保证设施。并将车间内温度、湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,不论外在环境条件如何变化,无尘车间内均能维持设定所要求的洁净度、温湿度及压力等性能。
洁净车间一般禁止及注意事项
1、大家应随时取缔、纠正不合规定之人员、物品、标示等,并通知洁净车间相关主管。
2、随时注意头发、口、鼻不可外露。
3、将无尘衣、帽等随意置于地板上。
4、在更衣室内穿、脱无尘衣,不可在其它地方为之。
5、吹淋室前后两门不可同时开起。
6、车间内严禁奔跑、嬉戏、喧哗、睡觉,严禁吃东西或喝饮料,应避免多人聚集在一起,以免制造微粒。
无尘车间在各行业中的温度标准
集成电路生产加工行业
在大规模集成电路生产的光刻***工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片,温度上升1度,引起了0.24um线性膨胀,所以须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间不宜超过25度。湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。
