洁净室(区)内设置真空泵时,应符合下列规定
洁净室（区）内设置真空泵时，应符合下列规定：1．电子工厂装修对于传输、自燃***或高浓度氧气的真空泵，应采用不燃泵油，并应配置氮气吹扫。氮气吹扫控制阀应与生产工艺设备操作系统联锁。2．对传输含有可燃气体的真空泵，可燃气体浓度超过下限的20%时，应设尾气处理装置，在排入排气系统前应去除或稀释可燃气体组分。3．使用油润滑的真空泵应设置除油装置，除油后尾气应排入排气系统。
光电车间净化工程是指不同级别
光电车间净化工程是指不同级别电子厂净化车间或电子实验室的半导体、微电子、光电技术、光学仪器、PCB、食品、模具等工程。 光学微电子净化工程 又称清净室或无尘室，目前已是精密制造、半导体、光学制造、液晶制造、线路板制造和、生***学、食品制造等行业不可或缺的重要设施。近几年来，因技术的创新发展，对于产品的高精密度化、细小型化的需求越发迫切，如超大型积体电路之研究制造，已成为世界各国在科技发展上极为重视的项目。 按行业标准要求，净化级别从 10-30 万级。净化的程度也直接影响了电子产品制作的质量。
在厂房装修过程中，首先要注意的是合理有效地划分空间，布局是厂房装修的首要因素，一般的厂房面积较大，那么在划分使用功能的时候还要考虑到分布以及通风、消防通道的预留。为便于管理，厂房多明确划分设备区与办公区的位置，并以地面的色调为准，对区域进行划分，同时也要考虑到设备区与办公区的空间流畅性。还应该考虑到通风、采光的需要。如果设备众多的，应该划分好区域，做好标识。划分区域的标识应该尽量避免色彩过多，做到明朗、清晰就可以。
