




烘箱是利用电热丝隔层加热使物体干燥的设备。它适用于比室温高5~300℃(有的高200℃)范围的烘培、干燥、热处理等,灵敏度通常为±1℃。烘箱选型依据及理由因为烘箱用在光刻工艺,所以对其的洁净度要求比较高,同时用于膜的固化等工艺,保持片内的均匀性、温控系统也是要求较高。烘箱的型号很多,但基本结构相似,一般由箱体、电热系统和自动控温系统三部分组成。其使用及注意事项总结如下:
1.烘箱应安放在室内干燥和水平处,防止振动和腐蚀。
2.要注意安全用电,根据烘箱耗电功率安装足够容量的电源闸刀。选用足够的电源导线,并应有良好的接地线。