湿度过高产生的问题更多。可见,对于企业来说,能耗的降低就意味着成本的节约,所以说市场需求正在往节能方向发展。相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外,湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。相对湿度越高,粘附的难去掉,但当相对湿度低于30%时,又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面,同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产佳温度范围为35—45%。
吊顶装饰工程① ***区吊顶采用***厂家制作的铝合金方管龙骨,铝塑板面层,面板用透明硅酸勾缝,保证缝隙不漏风。‘’8、折叠时,应相互配合,与折叠机保持一定距离,以免被翻转钢板伤害。因吊顶经常上人检修,其吊顶采用∠50×50×5角钢做挂件与主体结构连接牢固,不应与设备支架和管线支架相联接,且***室吊顶上不开设上人孔,上人孔可以设在走廊上。施工前做平面设计,将空调透风口、回风口、灯具合理规划好,使之既满足功能需要又美观大方。

洁净室土建地面与墙面不平整度不大于0.1%,墙角应垂直连接。消声器根据其消声原理的不同,可分为阻性和抗性两大类,这两类消声器具有不同的消声特性,阻性消声器主要消除中、高频噪声,抗性消声器主要消除中、低频噪声。为防止墙板因累积误差而倾斜扭曲,墙板垂直度偏差不应大于0.2%。天花板须按房间宽度的方向拱起,使天花板在使用负荷时保持平。天花板的四周应与墙壁紧密相连。在安装过程中,不得将板材的表面保护膜撕去。施工过程中禁止撞击或板表面。需要粘贴面层的材料、嵌填密封胶的表面和沟槽应防落积尘;粘贴前必须仔细清扫,除去杂质和油污,确保粘贴密实牢固。

