




高纯氮气在电子行业中的运用电子气体是发展集成电路、光电子、微电子,特别是超大规模集成电路、液晶显示器件、半导体发光器件和半导体材料制造过程中不可缺少的基础性支撑源材料,其中高纯氮气具有较多优势,不仅能够运用在冶金工业中,还能够运用在电子行业中。由于电子行业在生产过程中,也会对环境造成一定影响与***,因此电子行业迫切需要转型与升级,在提高生产工艺的基础上,将对环境的影响降低。电子行业中氮气纯度必须保持在99.999%之上,才符合电子行业的生产标准。
因为电子工业***规模越来越大,缩短建设周期,降低建设成本也越来越重要。对电子气体输送系统而言,如何在不降低系统污染控制水平和不牺牲安全配置前提下,努力减少建设和运行成本,同样是一个挑战。合理配置系统,合理选型材料,可显著降低初始***费用。这就要求电子气体输送系统承包商具备较强的系统设计能力。性质相匹配的气体,采用同一吹扫氮气系统,可显著节约气瓶柜的***。对于可采用移动式吹扫氮气盘。小
管路的施工,直接采用弯管的方式,即节约了弯头的费用,也大大提高了施工效率。严格执行高纯管路施工规范,可大大降低测试气体和测试时间。这些都是行之有效的成本控制措施。采用大包装容器的气源,可大大降低物流和人力操作等运行费用。因而越来越受到更多客户的青睐。

高纯管道在高纯气体输送中的意义
常见气体的种类 w* r% P( G( `5 K _* u, Aamp; ~
电子行业中常见气体的分类:/ c9 A7 q6 Aamp; P$ e, [amp; |; F3 O
普通气体,也称大宗气体 (Bulk gas ):氢气(H2)、氮气(N2)、氧气(O2)、***气(A2)等
特种气体(Specialty gas )主要有 SiH4 PH3 B2H6 A8H3 CL HCL CF4 NH3POCL3 SIH2CL2 SIHCL3 NH3 BCL3 SIF4 CLF3 CO C2F6 N2O F2 HF HBR SF6……等等
